Рентгеновская оптика, ЭУФ литография, ионно-пучковое травление, изучение шероховатости поверхности.
Основные публикации:
S.S. Andreev, M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, “Application of free-standing multilayer films as polarizers for X-ray radiation”, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A, 543 (2005), 340–345
M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.A. Fraerman, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer, “Ultra-short period X-ray mirrors: Production and investigation”, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A, 543 (2005), 333–339
Вайнер Ю.А., Пестов А.Е., Прохоров К.А., Салащенко Н.Н., Фраерман А.А., Чернов В.В., Чхало Н.И., “Исследование поперечной корреляции шероховатостей границ в многослойных структурах с ульра-короткими периодами”, Журнал экспериментальной и теоретической физики, 130:3 (2006), 401–408
S.S. Andreev, M.M. Barysheva, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, Yu.A. Vainer, S.Yu. Zuev, “Multilayered mirrors based on La/B4C(B9C) for X-ray range near anomalous dispersion of boron ($l\approx 6.7nm$)”, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A, 603 (2009), 80–82
N.I. Chkhalo, E.B. Kluenkov, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, D.G. Raskin, N.N. Salashchenko, L.A. Suslov, M.N. Toropov, “Manufacturing of XEUV mirrors with a sub-nanometer surface shape accuracy”, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A, 603 (2009), 62–65
С. Е. Перевалов, А. В. Котов, Р. С. Земсков, К. Ф. Бурдонов, В. Н. Гинзбург, А. А. Кузьмин, С. Е. Стукачев, И. В. Яковлев, А. А. Шайкин, А. Я. Лопатин, А. Е. Пестов, А. О. Колесников, А. Н. Шатохин, Е. Н. Рагозин, С. Ф. Шен, Л. Райхвайн, А. Пухов, Е. А. Хазанов, М. В. Стародубцев, А. А. Соловьев, “Ускорение электронов при взаимодействии лазерных импульсов с твердотельными мишенями в режиме лазерного скребка”, Квантовая электроника, 54:1 (2024), 35–42 [S. E. Perevalov, A. V. Kotov, R. S. Zemskov, K. F. Burdonov, V. N. Ginzburg, A. A. Kuzmin, S. E. Stukachev, I. V. Yakovlev, A. A. Shaikin, A. Ya. Lopatin, A. E. Pestov, A. O. Kolesnikov, A. N. Shatokhin, E. N. Ragozin, X. F. Shen, L. Reichwein, A. Pukhov, E. A. Khazanov, M. V. Starodubtsev, A. A. Solov'ev, “Acceleration of electrons upon interaction of laser pulses with solid targets in the laser peeler regime”, Bull. Lebedev Physics Institute, 51:suppl. 4 (2024), S305–S315]
2021
2.
Н. И. Чхало, А. А. Ахсахалян, Ю. А. Вайнер, М. В. Зорина, А. Е. Пестов, М. В. Свечников, М. Н. Торопов, N. Kumar, Ю. М. Токунов, “Применение нанопорошков окиси церия для полировки кремния”, ЖТФ, 91:10 (2021), 1588–1596
М. Н. Торопов, А. А. Ахсахалян, И. В. Малышев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, А. К. Чернышов, Н. И. Чхало, “Линзовый корректор волнового фронта для изучения плоских поверхностей”, ЖТФ, 91:10 (2021), 1583–1587
А. А. Ахсахалян, С. А. Гарахин, Ф. А. Дарьин, М. В. Зорина, В. В. Кривенцов, Д. Д. Першин, А. Е. Пестов, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Я. В. Ракшун, Н. Н. Салащенко, С. С. Светохин, М. В. Свечников, Д. С. Сороколетов, В. А. Чернов, Н. И. Чхало, “Изготовление и исследование зеркал с широкой полосой пропускания для синхротронных применений”, ЖТФ, 91:10 (2021), 1524–1531
5.
С. А. Гарахин, И. Г. Забродин, С. Ю. Зуев, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, А. Е. Пестов, А. А. Перекалов, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Р. М. Смертин, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Измерения абсолютных значений интенсивности излучения в диапазоне длин волн 6.6–32 nm мишени из нержавеющей стали при импульсном лазерном возбуждении”, ЖТФ, 91:10 (2021), 1448–1453
6.
С. В. Кузин, С. А. Богачев, Н. Ф. Ерхова, А. А. Перцов, И. П. Лобода, А. А. Рева, А. А. Холодилов, А. С. Ульянов, А. С. Кириченко, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, М. Н. Торопов, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, В. А. Крюковский, В. Н. Горев, А. А. Дорошкин, А. М. Задорожный, В. Ю. Прокопьев, “Солнечный телескоп вакуумного ультрафиолетового диапазона для наноспутников”, ЖТФ, 91:10 (2021), 1441–1447
А. В. Водопьянов, С. А. Гарахин, И. Г. Забродин, С. Ю. Зуев, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, А. Е. Пестов, А. А. Перекалов, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Р. М. Смертин, Б. А. Уласевич, Н. И. Чхало, “Измерения абсолютных интенсивностей спектральных линий ионов Kr, Ar и O в диапазоне длин волн 10–18 нм при импульсном лазерном возбуждении”, Квантовая электроника, 51:8 (2021), 700–707 [A. V. Vodopyanov, S. A. Garakhin, I. G. Zabrodin, S. Yu. Zuev, A. Ya. Lopatin, A. N. Nechai, A. E. Pestov, A. A. Perekalov, R. S. Pleshkov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, R. M. Smertin, B. A. Ulasevich, N. I. Chkhalo, “Measurements of the absolute intensities of spectral lines of Kr, Ar, and O ions in the wavelength range of 10–18 nm under pulsed laser excitation”, Quantum Electron., 51:8 (2021), 700–707]
И. Г. Забродин, М. В. Зорина, И. А. Каськов, И. В. Малышев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, “Ионно-пучковые методики прецизионной обработки оптических поверхностей”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1922–1930; I. G. Zabrodin, M. V. Zorina, I. A. Kas'kov, I. V. Malyshev, M. S. Mikhailenko, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, A. K. Chernyshev, N. I. Chkhalo, “Ion-beam methods for high-precision processing of optical surfaces”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1837–1845
М. В. Зорина, И. И. Кузнецов, М. С. Михайленко, О. В. Палашов, А. Е. Пестов, Н. И. Чхало, “Подготовка поверхности материалов для создания композитных оптических элементов”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1913–1916; M. V. Zorina, I. I. Kuznetsov, M. S. Mikhailenko, O. V. Palashov, A. E. Pestov, N. I. Chkhalo, “Material surface treatment for design of composite optical elements”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1828–1831
С. А. Гарахин, М. В. Зорина, С. Ю. Зуев, М. С. Михаленко, А. Е. Пестов, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Модификация и полировка штриха голографической дифракционной решетки пучком нейтрализованных ионов Ar”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1864–1869; S. A. Garakhin, M. V. Zorina, S. Yu. Zuev, M. S. Mikhailenko, A. E. Pestov, R. S. Pleshkov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, “Modification and polishing of the holographic diffraction grating grooves by a neutralized Ar ion beam”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1780–1785
11.
М. М. Барышева, С. Ю. Зуев, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Перспективы использования рентгеновских трубок с автоэмиссионным катодом и “прострельным” анодом в диапазоне мягкого рентгеновского излучения”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1806–1816; M. M. Barysheva, S. Yu. Zuev, A. Ya. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, N. I. Chkhalo, “Prospects for the use of X-ray tubes with a field-emission cathode and a through-type anode in the range of soft X-ray radiation”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1726–1735
Н. И. Чхало, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, “Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения”, УФН, 190:1 (2020), 74–91; N. I. Chkhalo, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov, “Diffraction limited X-ray optics: technology, metrology, applications”, Phys. Usp., 63:1 (2020), 67–82
Н. И. Чхало, М. В. Зорина, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Д. С. Казаков, A. В. Мильков, И. Л. Струля, “Бериллий как материал для термостойких рентгеновских зеркал”, ЖТФ, 89:11 (2019), 1686–1691; N. I. Chkhalo, M. V. Zorina, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, D. S. Kazakov, A. V. Mil'kov, I. L. Strulya, “Beryllium as a material for thermally stable X-ray mirrors”, Tech. Phys., 64:11 (2019), 1596–1601
А. К. Чернышев, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, Н. И. Чхало, “Моделирование процесса коррекции локальных ошибок формы поверхности малоразмерным ионным пучком”, ЖТФ, 89:11 (2019), 1650–1655; A. K. Chernyshev, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, N. I. Chkhalo, “Simulation of local error correction of the surface shape by a low-dimensional ion beam”, Tech. Phys., 64:11 (2019), 1560–1565
М. В. Зорина, С. Ю. Зуев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Повышение дифракционной эффективности решеток-эшелеттов за счет полировки поверхности штриха ионно-пучковым травлением”, Письма в ЖТФ, 42:16 (2016), 34–40; M. V. Zorina, S. Yu. Zuev, M. S. Mikhailenko, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, “The diffraction efficiency of echelle gratings increased by ion-beam polishing of groove surfaces”, Tech. Phys. Lett., 42:8 (2016), 844–847
А. Н. Нечай, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало, Н. Н. Цыбин, А. В. Щербаков, “Рентгенооптическая система для получения изображения лазерного факела с пространственным разрешением до 70 нм”, Квантовая электроника, 46:4 (2016), 347–352 [A. N. Nechai, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov, N. I. Chkhalo, N. N. Tsybin, A. V. Shcherbakov, “X-ray optical system for imaging laser plumes with a spatial resolution of up to 70 nm”, Quantum Electron., 46:4 (2016), 347–352]
П. Н. Аруев, М. М. Барышева, Б. Я. Бер, Н. В. Забродская, В. В. Забродский, А. Я. Лопатин, А. Е. Пестов, М. В. Петренко, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, В. Л. Суханов, Н. И. Чхало, “Кремниевый фотодиод для экстремального ультрафиолетового диапазона спектра с селективным Zr/Si-покрытием”, Квантовая электроника, 42:10 (2012), 943–948 [P. N. Aruev, M. M. Barysheva, B. Ya. Ber, N. V. Zabrodskaya, V. V. Zabrodskii, A. Ya. Lopatin, A. E. Pestov, M. V. Petrenko, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, V. L. Sukhanov, N. I. Chkhalo, “Silicon photodiode with selective Zr/Si coating for extreme ultraviolet spectral range”, Quantum Electron., 42:10 (2012), 943–948]
М. М. Барышева, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало, “Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов”, УФН, 182:7 (2012), 727–747; M. M. Barysheva, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov, N. I. Chkhalo, “Precision imaging multilayer optics for soft X-rays and extreme ultraviolet bands”, Phys. Usp., 55:7 (2012), 681–699
Обратная связь: