|
Квантовая электроника, 2021, том 51, номер 8, страницы 700–707
(Mi qe17892)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)
Воздействие лазерного излучения на вещество
Измерения абсолютных интенсивностей спектральных линий ионов Kr, Ar и O в диапазоне длин волн 10–18 нм при импульсном лазерном возбуждении
А. В. Водопьяновa, С. А. Гарахинb, И. Г. Забродинb, С. Ю. Зуевb, А. Я. Лопатинb, А. Н. Нечайb, А. Е. Пестовb, А. А. Перекаловb, Р. С. Плешковb, В. Н. Полковниковb, Н. Н. Салащенкоb, Р. М. Смертинb, Б. А. Уласевичb, Н. И. Чхалоb a Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики РАН, г. Нижний Новгород
b Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Измерены абсолютные интенсивности спектральных линий ионов Kr, Ar и O (газ СО$_2$), представляющие интерес для рефлектометрии, микроскопии и литографии в диапазоне длин волн 10–18 нм. Использовалось импульсное возбуждение Nd : YAG-лазером с длиной волны излучения $\lambda$ = 1064 нм, энергией импульса 0.8 Дж и его длительностью 5.2 нс при частоте следования импульсов 10 Гц. Формирование мишеней происходило при истечении газа через импульсное сверхзвуковое коническое сопло при давлении газов на входе в него 3.5 бар. Подробно описаны спектрометр на основе многослойных рентгеновских зеркал и процедура его калибровки. Измерены абсолютные интенсивности спектральных линий Kr IX ($\lambda$ = 11.5 нм, число фотонов N= 9.3 $\times$ 10$^{12}$ фотон./имп.), Ar VIII ($\lambda$ = 13.84 нм, N = 3 $\times$ 10$^{12}$ фотон./имп.) и O VI ($\lambda$ = 12.98 нм, N = 5.17 $\times$ 10$^{12}$ фотон./имп.). Проведено сравнение результатов с данными, полученными для ионов Xe в тех же экспериментальных условиях на тех же длинах волн.
Ключевые слова:
экстремальное УФ излучение, спектры излучения, лазерная искра, спектрометр, многослойное рентгеновское зеркало.
Поступила в редакцию: 25.02.2021 Исправленный вариант: 08.06.2021
Образец цитирования:
А. В. Водопьянов, С. А. Гарахин, И. Г. Забродин, С. Ю. Зуев, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, А. Е. Пестов, А. А. Перекалов, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Р. М. Смертин, Б. А. Уласевич, Н. И. Чхало, “Измерения абсолютных интенсивностей спектральных линий ионов Kr, Ar и O в диапазоне длин волн 10–18 нм при импульсном лазерном возбуждении”, Квантовая электроника, 51:8 (2021), 700–707 [Quantum Electron., 51:8 (2021), 700–707]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe17892 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v51/i8/p700
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 145 | PDF полного текста: | 43 | Список литературы: | 18 | Первая страница: | 16 |
|