Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2016, том 42, выпуск 16, страницы 34–40 (Mi pjtf6326)  
Эта публикация цитируется в 12 научных статьях (всего в 12 статьях)

Повышение дифракционной эффективности решеток-эшелеттов за счет полировки поверхности штриха ионно-пучковым травлением

М. В. Зоринаa, С. Ю. Зуевa, М. С. Михайленкоa, А. Е. Пестовa, В. Н. Полковниковab, Н. Н. Салащенкоa, Н. И. Чхалоa

a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
PDF полного текста (208 kB) Список цитирования (12)
Аннотация: Показана возможность повышения эффективности первого порядка дифракции (до 10 раз) дифракционных решеток-эшелеттов из стекла Ф1 в мягком рентгеновском и экстремальном ультрафиолетовом диапазонах длин волн за счет полировки поверхности штриха нейтрализованными ионами Ar с энергией 1250 eV. Обработка осуществляется при нормальном падении ионов на поверхность образца и съеме материала на уровне 80–300 nm. Предложен принцип оптимизации параметров процесса ионно-пучкового травления для решения конкретных задач по планаризации микроструктур с различными латеральными размерами.
Поступила в редакцию: 14.04.2016
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2016, Volume 42, Issue 8, Pages 844–847
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785016080319
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. В. Зорина, С. Ю. Зуев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Повышение дифракционной эффективности решеток-эшелеттов за счет полировки поверхности штриха ионно-пучковым травлением”, Письма в ЖТФ, 42:16 (2016), 34–40; Tech. Phys. Lett., 42:8 (2016), 844–847
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ZorZueMik16}
\by М.~В.~Зорина, С.~Ю.~Зуев, М.~С.~Михайленко, А.~Е.~Пестов, В.~Н.~Полковников, Н.~Н.~Салащенко, Н.~И.~Чхало
\paper Повышение дифракционной эффективности решеток-эшелеттов за счет полировки поверхности штриха ионно-пучковым травлением
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2016
\vol 42
\issue 16
\pages 34--40
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf6326}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=27368293}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2016
\vol 42
\issue 8
\pages 844--847
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785016080319}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6326
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v42/i16/p34
    • Эта публикация цитируется в следующих 12 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024