Успехи физических наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Успехи физических наук, 2020, том 190, номер 1, страницы 74–91
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038601
(Mi ufn6618)
 

Эта публикация цитируется в 17 научных статьях (всего в 17 статьях)

КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ

Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения

Н. И. Чхало, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Список литературы:
Аннотация: Прогресс в технологии изготовления многослойных интерференционных зеркал нормального падения позволяет распространить традиционные для оптики методы микроскопии, астрономии и литографии в вакуумный ультрафиолетовый (ВУФ) диапазон (длины волн 10–200 нм) и длинноволновую часть мягкого рентгеновского (МР) диапазона (длины волн 2–10 нм).Благодаря короткой волне и особенностям её взаимодействия с веществом излучение этих диапазонов предоставляет уникальные возможности для нанофизики, нанотехнологии и нанодиагностики вещества. Для использования преимущества короткой волны в полном объёме необходима оптика дифракционного качества, точность которой должна быть как минимум на два порядка выше точности традиционной оптики. Даётся анализ реальных возможностей традиционных методов изготовления и изучения прецизионных оптических элементов, сообщается о развиваемых в Институте физики микроструктур РАН методах изготовления и характеризации оптики дифракционного качества для ВУФ- и МР-диапазонов. Приводятся примеры применения такой оптики для задач внеземной астрономии, рентгеновской микроскопии и литографии.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российская академия наук - Федеральное агентство научных организаций 0035-2014-0204
Российский фонд фундаментальных исследований 19-07-00173
19-02-00081
18-02-00173
18-02-00588
18-42-520007
18-32-00671
18-32-00173
Работа выполнена в рамках государственного задания ИФМ РАН (тема No. 0035-2014-0204) при поддержке Российским фондом фундаментальных исследований (гранты 19-07-00173, 19-02-00081, 18-02-00173, 18-02-00588, 18-42-520007, 18-32-00671, 18-32-00173).
Поступила: 4 июля 2019 г.
Одобрена в печать: 22 мая 2019 г.
Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 2020, Volume 63, Issue 1, Pages 67–82
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNe.2019.05.038601
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 06.30.−k
Образец цитирования: Н. И. Чхало, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, “Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения”, УФН, 190:1 (2020), 74–91; Phys. Usp., 63:1 (2020), 67–82
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ChkMalPes20}
\by Н.~И.~Чхало, И.~В.~Малышев, А.~Е.~Пестов, В.~Н.~Полковников, Н.~Н.~Салащенко, М.~Н.~Торопов
\paper Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения
\jour УФН
\yr 2020
\vol 190
\issue 1
\pages 74--91
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ufn6618}
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038601}
\adsnasa{https://adsabs.harvard.edu/cgi-bin/bib_query?2020PhyU...63...67C}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=43271673}
\transl
\jour Phys. Usp.
\yr 2020
\vol 63
\issue 1
\pages 67--82
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNe.2019.05.038601}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000537855600006}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85085103717}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn6618
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v190/i1/p74
    КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ
    Эта публикация цитируется в следующих 17 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Успехи физических наук Physics-Uspekhi
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:221
    PDF полного текста:34
    Список литературы:17
    Первая страница:13
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024