|
Эта публикация цитируется в 14 научных статьях (всего в 14 статьях)
КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ
Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения
Н. И. Чхало, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Прогресс в технологии изготовления многослойных интерференционных зеркал нормального падения позволяет распространить традиционные для оптики методы микроскопии, астрономии и литографии в вакуумный ультрафиолетовый (ВУФ) диапазон (длины волн 10–200 нм) и длинноволновую часть мягкого рентгеновского (МР) диапазона (длины волн 2–10 нм).Благодаря короткой волне и особенностям её взаимодействия с веществом излучение этих диапазонов предоставляет уникальные возможности для нанофизики, нанотехнологии и нанодиагностики вещества. Для использования преимущества короткой волны в полном объёме необходима оптика дифракционного качества, точность которой должна быть как минимум на два порядка выше точности традиционной оптики. Даётся анализ реальных возможностей традиционных методов изготовления и изучения прецизионных оптических элементов, сообщается о развиваемых в Институте физики микроструктур РАН методах изготовления и характеризации оптики дифракционного качества для ВУФ- и МР-диапазонов. Приводятся примеры применения такой оптики для задач внеземной астрономии, рентгеновской микроскопии и литографии.
Поступила: 4 июля 2019 г. Одобрена в печать: 22 мая 2019 г.
Образец цитирования:
Н. И. Чхало, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, “Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения”, УФН, 190:1 (2020), 74–91; Phys. Usp., 63:1 (2020), 67–82
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ufn6618 https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v190/i1/p74
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 198 | PDF полного текста: | 21 | Список литературы: | 11 | Первая страница: | 13 |
|