Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2019, том 89, выпуск 11, страницы 1650–1655
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48323.133-19 (Mi jtf5453) 		 
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

XXIII Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 11-14 марта 2019 г.

Моделирование процесса коррекции локальных ошибок формы поверхности малоразмерным ионным пучком

А. К. Чернышевab, И. В. Малышевa, А. Е. Пестовa, Н. И. Чхалоa

a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
PDF полного текста (1165 kB) Список цитирования (3)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48323.133-19
Аннотация: Предложен алгоритм решения задачи коррекции локальных ошибок формы поверхности малоразмерным ионным пучком. Алгоритм предполагает последовательный перебор возвышений относительно среднего с целью поиска наиболее оптимальной точки травления, удовлетворяющей критерию – уменьшение суммы модулей производных на пятне травления. Показано, что новый подход позволяет заметно расширить диапазон пространственных частот, поддающихся воздействию при заданном размере ионного пучка.
Ключевые слова: ЭУФ оптика, форма поверхности, ионно-пучковая коррекция формы, ионное травление.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 18-32-00149 мол_а
18-07-00633
Министерство образования и науки Российской Федерации 0035-2018-0018
Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований: 18-32-00149 мол_а, 18-07-00633 и программы Российской академии наук 0035-2018-0018.
Поступила в редакцию: 28.03.2019
Исправленный вариант: 28.03.2019
Принята в печать: 15.04.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2019, Volume 64, Issue 11, Pages 1560–1565
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784219110069
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. К. Чернышев, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, Н. И. Чхало, “Моделирование процесса коррекции локальных ошибок формы поверхности малоразмерным ионным пучком”, ЖТФ, 89:11 (2019), 1650–1655; Tech. Phys., 64:11 (2019), 1560–1565
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{CheMalPes19}
\by А.~К.~Чернышев, И.~В.~Малышев, А.~Е.~Пестов, Н.~И.~Чхало
\paper Моделирование процесса коррекции локальных ошибок формы поверхности малоразмерным ионным пучком
\jour ЖТФ
\yr 2019
\vol 89
\issue 11
\pages 1650--1655
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5453}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48323.133-19}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=41300853}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2019
\vol 64
\issue 11
\pages 1560--1565
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784219110069}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5453
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i11/p1650
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024