Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 2012, том 42, номер 10, страницы 943–948 (Mi qe14901)  

Эта публикация цитируется в 26 научных статьях (всего в 26 статьях)

Фотоприемники

Кремниевый фотодиод для экстремального ультрафиолетового диапазона спектра с селективным Zr/Si-покрытием

П. Н. Аруевa, М. М. Барышеваb, Б. Я. Берa, Н. В. Забродскаяa, В. В. Забродскийa, А. Я. Лопатинb, А. Е. Пестовb, М. В. Петренкоa, В. Н. Полковниковb, Н. Н. Салащенкоb, В. Л. Сухановa, Н. И. Чхалоb

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Список литературы:
Аннотация: Разработана методика создания кремниевого фотодиода с интегрированным узкополосным Zr/Si фильтром для экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) спектрального диапазона. Создана установка для измерения профиля чувствительности детекторов с пространственным разрешением лучше 100 мкм. Исследованы оптические свойства кремниевых фотодиодов в ЭУФ и видимом спектральных диапазонах. Проведено сравнение ряда характеристик диодов SPD-100UV с Zr/Si-покрытием и без покрытия и AXUV-100. У всех типов детекторов обнаружена узкая область вне рабочей апертуры, чувствительная к видимому свету.
Ключевые слова: ЭУФ-излучение, кремниевый фотодиод, детектор, ЭУФ-фильтр.
Поступила в редакцию: 27.07.2012
Исправленный вариант: 06.08.2012
Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2012, Volume 42, Issue 10, Pages 943–948
DOI: https://doi.org/10.1070/QE2012v042n10ABEH014901
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 85.60.Dw, 42.79.Pw


Образец цитирования: П. Н. Аруев, М. М. Барышева, Б. Я. Бер, Н. В. Забродская, В. В. Забродский, А. Я. Лопатин, А. Е. Пестов, М. В. Петренко, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, В. Л. Суханов, Н. И. Чхало, “Кремниевый фотодиод для экстремального ультрафиолетового диапазона спектра с селективным Zr/Si-покрытием”, Квантовая электроника, 42:10 (2012), 943–948 [Quantum Electron., 42:10 (2012), 943–948]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe14901
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v42/i10/p943
  • Эта публикация цитируется в следующих 26 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:426
    PDF полного текста:380
    Список литературы:38
    Первая страница:3
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024