|
Эта публикация цитируется в 60 научных статьях (всего в 60 статьях)
ПРИБОРЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ
Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов
М. М. Барышева, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Работа посвящена фундаментальным проблемам изготовления и тестирования, а также применениям в диапазоне длин волн $2$ – $60$ нм оптики, обеспечивающей дифракционное качество изображений (пространственное разрешение единицы/десятки нанометров) и востребованной для проекционной литографии, рентгеновской микроскопии, астрофизики и для фундаментальных исследований в области взаимодействия вещества (вакуума) со сверхсильными ($10^{20}-10^{23}$ Вт см$^{-2}$) электромагнитными полями. Сообщается о состоянии этих исследований в мире и о последних разработках в этой области, проводимых в Институте физики микроструктур (ИФМ) РАН.
Поступила: 27 июня 2011 г. Одобрена в печать: 17 августа 2011 г.
Образец цитирования:
М. М. Барышева, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало, “Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов”, УФН, 182:7 (2012), 727–747; Phys. Usp., 55:7 (2012), 681–699
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ufn4091 https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v182/i7/p727
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 392 | PDF полного текста: | 122 | Список литературы: | 54 | Первая страница: | 1 |
|