|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10--13 марта 2020 г.
Физическая электроника
Ионно-пучковые методики прецизионной обработки оптических поверхностей
И. Г. Забродин, М. В. Зорина, И. А. Каськов, И. В. Малышев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Описаны методики прецизионной обработки поверхности оптических элементов пучками ускоренных ионов. Приведены характеристики и возможности оборудования, а также решаемые с помощью него задачи. Подробно описаны возможности финишной коррекции локальных ошибок формы малоразмерным ионным пучком, осесимметричной коррекции/асферизации широкоапертурным сильноточным ионным пучком и ионной полировки. Представлены значения эффективной шероховатости поверхности плавленого кварца, ситалла, Zerodur'а, ULE$\circledR$ в диапазоне пространственных частот $q\in$ [2.5 $\cdot$ 10$^{-2}$–6.0 $\cdot$ 10$^{1}$ $\mu$m$^{-1}$], а также примеры формирования сферической поверхности и профиля асферизации.
Ключевые слова:
ионно-пучковая методика, пучок ускорения, кварц, ситалл.
Поступила в редакцию: 03.04.2020 Исправленный вариант: 03.04.2020 Принята в печать: 03.04.2020
Образец цитирования:
И. Г. Забродин, М. В. Зорина, И. А. Каськов, И. В. Малышев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, “Ионно-пучковые методики прецизионной обработки оптических поверхностей”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1922–1930; Tech. Phys., 65:11 (2020), 1837–1845
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5163 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v90/i11/p1922
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 68 | PDF полного текста: | 59 |
|