|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10--13 марта 2020 г.
Физическая электроника
Подготовка поверхности материалов для создания композитных оптических элементов
М. В. Зоринаa, И. И. Кузнецовb, М. С. Михайленкоa, О. В. Палашовb, А. Е. Пестовa, Н. И. Чхалоa a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Институт прикладной физики РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Исследовано качество подготовки поверхности различных лазерных материалов с целью создания композитных элементов. Показано, что плоскостность образцов должна быть не хуже чем $\lambda$/10, а шероховатость – не больше 1.0 nm. Найдены параметры ионного травления, которые не приводят к деградации шероховатости – ионы Ar, $E_{ion}$ = 800 eV и угол скольжения $\theta$ = 5$^\circ$. Созданы композитные элементы из алюмоиттриевого граната, легированного ионами иттербия (Yb:YAG), а также магнитоактивного кристалла TGG (тербий-галлиевый гранат) с монокристаллами сапфира.
Ключевые слова:
шероховатость, ионное травление, алюмоиттриевый гранат, иттербий, монокристаллы сапфира.
Поступила в редакцию: 12.04.2020 Исправленный вариант: 12.04.2020 Принята в печать: 12.04.2020
Образец цитирования:
М. В. Зорина, И. И. Кузнецов, М. С. Михайленко, О. В. Палашов, А. Е. Пестов, Н. И. Чхало, “Подготовка поверхности материалов для создания композитных оптических элементов”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1913–1916; Tech. Phys., 65:11 (2020), 1828–1831
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5161 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v90/i11/p1913
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 66 | PDF полного текста: | 61 |
|