|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
2019 |
| 1. |
Д. Б. Абраменко, П. С. Анциферов, Д. И. Астахов, А. Ю. Виноходов, И. Ю. Вичев, Р. Р. Гаязов, А. С. Грушин, Л. А. Дорохин, В. В. Иванов, Д. А. Ким, К. Н. Кошелев, П. В. Крайнов, М. С. Кривокорытов, В. М. Кривцун, Б. В. Лакатош, А. А. Лаш, В. В. Медведев, А. Н. Рябцев, Ю. В. Сидельников, Е. П. Снегирёв, А. Д. Соломянная, М. В. Спиридонов, И. П. Цыгвинцев, О. Ф. Якушев, А. А. Якушкин, “Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)”, УФН, 189:3 (2019), 323–334   ; D. B. Abramenko, P. S. Antsiferov, D. I. Astakhov, A. Yu. Vinokhodov, I. Yu. Vichev, R. R. Gayazov, A. S. Grushin, L. A. Dorokhin, V. V. Ivanov, D. A. Kim, K. N. Koshelev, P. V. Krainov, M. S. Krivokorytov, V. M. Krivtsun, B. V. Lakatosh, A. A. Lash, V. V. Medvedev, A. N. Ryabtsev, Yu. V. Sidelnikov, E. P. Snegirev, A. D. Solomyannaya, M. V. Spiridonov, I. P. Tsygvintsev, O. F. Yakushev, A. A. Yakushkin, “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection (50th anniversary of the Institute of Spectroscopy, Russian Academy of Sciences)”, Phys. Usp., 62:3 (2019), 304–314   |
14
|
|
2016 |
| 2. |
А. Ю. Виноходов, М. С. Кривокорытов, Ю. В. Сидельников, В. М. Кривцун, В. В. Медведев, К. Н. Кошелев, “Яркостный источник ЭУФ излучения на основе лазерной плазмы при использовании капельной жидкометаллической мишени”, Квантовая электроника, 46:5 (2016), 473–480 [A. Yu. Vinokhodov, M. S. Krivokorytov, Yu. V. Sidelnikov, V. M. Krivtsun, V. V. Medvedev, K. N. Koshelev, “High brightness EUV sources based on laser plasma at using droplet liquid metal target”, Quantum Electron., 46:5 (2016), 473–480 ] |
14
|
| 3. |
А. Ю. Виноходов, В. М. Кривцун, А. А. Лаш, В. М. Борисов, О. Ф. Якушев, К. Н. Кошелев, “Источник ЭУФ лазерно-индуцированного излучения высокой яркости на основе оловянной плазмы с неограниченным ресурсом электродов”, Квантовая электроника, 46:1 (2016), 81–87 [A. Yu. Vinokhodov, V. M. Krivtsun, A. A. Lash, V. M. Borisov, O. F. Yakushev, K. N. Koshelev, “High-brightness laser-induced EUV source based on tin plasma with an unlimited lifetime of electrodes”, Quantum Electron., 46:1 (2016), 81–87 ] |
10
|
| 4. |
А. Ю. Виноходов, К. Н. Кошелев, В. М. Кривцун, М. С. Кривокорытов, Ю. В. Сидельников, В. В. Медведев, В. О. Компанец, А. А. Мельников, С. В. Чекалин, “Формирование мелкодисперсной жидкометаллической мишени под действием лазерных импульсов фемто- и пикосекундной длительности для лазерного плазменного источника в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне”, Квантовая электроника, 46:1 (2016), 23–28 [A. Yu. Vinokhodov, K. N. Koshelev, V. M. Krivtsun, M. S. Krivokorytov, Yu. V. Sidelnikov, V. V. Medvedev, V. O. Kompanets, A. A. Melnikov, S. V. Chekalin, “Formation of a fine-dispersed liquid-metal target under the action of femto- and picosecond laser pulses for a laser-plasma radiation source in the extreme ultraviolet range”, Quantum Electron., 46:1 (2016), 23–28 ] |
21
|
|
2014 |
| 5. |
В. М. Борисов, К. Н. Кошелев, А. В. Прокофьев, Ф. Ю. Хаджийский, О. Б. Христофоров, “Источник света с высокой яркостью излучения на длине волны 13.5 нм”, Квантовая электроника, 44:11 (2014), 1077–1082 [V. M. Borisov, K. N. Koshelev, A. V. Prokof'ev, F. Yu. Khadzhiyskiy, O. B. Khristoforov, “EUV light source with high brightness at 13.5 nm”, Quantum Electron., 44:11 (2014), 1077–1082 ] |
6
|
|
2013 |
| 6. |
Д. А. Ким, В. Г. Новиков, Г. В. Долголева, К. Н. Кошелев, А. Д. Соломянная, “Моделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной in-line в программу радиационной газодинамики”, Матем. моделирование, 25:7 (2013), 89–102 ; D. A. Kim, V. G. Novikov, G. V. Dolgoleva, K. N. Koshelev, A. D. Solomyannaya, “EUV-source modeling with account of detailed level kinetics included in-line into gasdynamic calculations”, Math. Models Comput. Simul., 6:1 (2014), 46–55 |
3
|
|
2012 |
| 7. |
Д. А. Ким, В. Г. Новиков, Г. В. Долголева, К. Н. Кошелев, А. Д. Соломянная, “Моделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной in-line в программу радиационной газодинамики”, Препринты ИПМ им. М. В. Келдыша, 2012, 051, 23 стр. |
|
2007 |
| 8. |
К. Н. Кошелев, В. Е. Банин, Н. Н. Салащенко, “Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии”, УФН, 177:7 (2007), 777–780 ; K. N. Koshelev, V. E. Banine, N. N. Salashchenko, “Research and development in short-wave radiation sources for new-generation lithography”, Phys. Usp., 50:7 (2007), 741–744 |
27
|
|
1997 |
| 9. |
К. Н. Кошелев, Х.-И. Кунце, “Инверсная населенность в разрядной плазме с неустойчивостями типа перетяжки”, Квантовая электроника, 24:2 (1997), 169–172 [K. N. Koshelev, H.-I. Kuntse, “Population inversion in a discharge plasma with neck-type instabilities”, Quantum Electron., 27:2 (1997), 164–167 ] |
5
|
|
1982 |
| 10. |
В. В. Вихрев, В. В. Иванов, К. Н. Кошелев, Ю. В. Сидельников, “О возможности повышения температуры микропинчевой области вакуумной искры”, Докл. АН СССР, 262:6 (1982), 1361–1363 |
|
1981 |
| 11. |
А. Н. Жерихин, К. Н. Кошелев, П. Г. Крюков, В. С. Летохов, С. В. Чекалин, “Поиски усиления в далекой ВУФ области на переходах многозарядных ионов в протяженной лазерной плазме”, Квантовая электроника, 8:1 (1981), 88–97 [A. N. Zherikhin, K. N. Koshelev, P. G. Kryukov, V. S. Letokhov, S. V. Chekalin, “Search for amplification in the far vacuum ultraviolet due to transitions of multiply charged ions in an extended laser plasma”, Sov J Quantum Electron, 11:1 (1981), 48–54 ] |
5
|
|
1976 |
| 12. |
Э. Я. Кононов, К. Н. Кошелев, Ю. А. Левыкин, Ю. В. Сидельников, C. C. Чурилов, “Инверсная населенность уровней Al XI в лазерной плазме”, Квантовая электроника, 3:3 (1976), 576–581 [È. Ya. Kononov, K. N. Koshelev, Yu. A. Levykin, Yu. V. Sidel'nikov, S. S. Churilov, “Population inversion of Al<sub>xi</sub> in a laser plasma”, Sov J Quantum Electron, 6:3 (1976), 308–311] |
29
|
| 13. |
А. Н. Жерихин, К. Н. Кошелев, В. С. Летохов, “Об усилении в области далекого вакуумного ультрафиолета на переходах многозарядных ионов”, Квантовая электроника, 3:1 (1976), 152–156 [A. N. Zherikhin, K. N. Koshelev, V. S. Letokhov, “Gain in the far vacuum ultraviolet region due to transitions in multiply charged ions”, Sov J Quantum Electron, 6:1 (1976), 82–84] |
63
|
|
1975 |
| 14. |
К. Н. Кошелев, С. В. Чекалин, C. C. Чурилов, “Об оптимальной фокусировке лазерного излучения на поверхность твердой мишени”, Квантовая электроника, 2:7 (1975), 1593–1595 [K. N. Koshelev, S. V. Chekalin, S. S. Churilov, “Optimal focusing of laser radiation on the surface of a solid target”, Sov J Quantum Electron, 5:7 (1975), 871–872] |
2
|
| 15. |
К. Н. Кошелев, C. C. Чурилов, “О возможной интерпретации наблюдения сверхсветимости в спектрах иона Al IV в плазме лазерного факела”, Квантовая электроника, 2:4 (1975), 723–727 [K. N. Koshelev, S. S. Churilov, “A possible interpretation of the observed superradiance in the spectra of Al IV ions in the plasma of laser jet”, Sov J Quantum Electron, 5:4 (1975), 400–402] |
2
|
|
1974 |
| 16. |
Э. Я. Кононов, К. Н. Кошелев, “Инверсная населенность уровней многозарядных ионов”, Квантовая электроника, 1:11 (1974), 2411–2416 [È. Ya. Kononov, K. N. Koshelev, “Inverse population of levels of multiply charged ions”, Sov J Quantum Electron, 4:11 (1975), 1340–1343] |
21
|
|
Обратная связь: