|
Эта публикация цитируется в 14 научных статьях (всего в 14 статьях)
КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ
Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)
Д. Б. Абраменкоab, П. С. Анциферовa, Д. И. Астаховac, А. Ю. Виноходовb, И. Ю. Вичевd, Р. Р. Гаязовa, А. С. Грушинd, Л. А. Дорохинa, В. В. Ивановab, Д. А. Кимd, К. Н. Кошелевab, П. В. Крайновe, М. С. Кривокорытовabe, В. М. Кривцунabe, Б. В. Лакатошe, А. А. Лашb, В. В. Медведевace, А. Н. Рябцевa, Ю. В. Сидельниковa, Е. П. Снегирёвa, А. Д. Соломяннаяd, М. В. Спиридоновfb, И. П. Цыгвинцевd, О. Ф. Якушевg, А. А. Якушкинb a Институт спектроскопии РАН, Москва, г. Троицк
b ООО "ЭУФ Лабс", г. Троицк, г. Москва
c ISTEQ B.V., Eindhoven, Netherlands
d Институт прикладной математики им. М.В. Келдыша РАН, г. Москва
e Московский физико-технический институт (государственный университет), г. Долгопрудный, Московская обл.
f Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, г. Москва
g Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, г. Москва
Аннотация:
Описаны результаты исследований, посвящённых разработке плазменных источников экстремального ультрафиолетового излучения для
литографии нового поколения и разработке методов спектральной диагностики таких источников.
Поступила: 28 августа 2018 г. Одобрена в печать: 20 июня 2018 г.
Образец цитирования:
Д. Б. Абраменко, П. С. Анциферов, Д. И. Астахов, А. Ю. Виноходов, И. Ю. Вичев, Р. Р. Гаязов, А. С. Грушин, Л. А. Дорохин, В. В. Иванов, Д. А. Ким, К. Н. Кошелев, П. В. Крайнов, М. С. Кривокорытов, В. М. Кривцун, Б. В. Лакатош, А. А. Лаш, В. В. Медведев, А. Н. Рябцев, Ю. В. Сидельников, Е. П. Снегирёв, А. Д. Соломянная, М. В. Спиридонов, И. П. Цыгвинцев, О. Ф. Якушев, А. А. Якушкин, “Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)”, УФН, 189:3 (2019), 323–334; Phys. Usp., 62:3 (2019), 304–314
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ufn6375 https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v189/i3/p323
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 297 | PDF полного текста: | 32 | Список литературы: | 37 | Первая страница: | 15 |
|