Успехи физических наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи физических наук, 2019, том 189, номер 3, страницы 323–334
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.2018.06.038447 (Mi ufn6375) 		 
Эта публикация цитируется в 14 научных статьях (всего в 14 статьях)

КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ

Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)

Д. Б. Абраменкоab, П. С. Анциферовa, Д. И. Астаховac, А. Ю. Виноходовb, И. Ю. Вичевd, Р. Р. Гаязовa, А. С. Грушинd, Л. А. Дорохинa, В. В. Ивановab, Д. А. Кимd, К. Н. Кошелевab, П. В. Крайновe, М. С. Кривокорытовabe, В. М. Кривцунabe, Б. В. Лакатошe, А. А. Лашb, В. В. Медведевace, А. Н. Рябцевa, Ю. В. Сидельниковa, Е. П. Снегирёвa, А. Д. Соломяннаяd, М. В. Спиридоновfb, И. П. Цыгвинцевd, О. Ф. Якушевg, А. А. Якушкинb

a Институт спектроскопии РАН, Москва, г. Троицк
b ООО "ЭУФ Лабс", г. Троицк, г. Москва
c ISTEQ B.V., Eindhoven, Netherlands
d Институт прикладной математики им. М.В. Келдыша РАН, г. Москва
e Московский физико-технический институт (государственный университет), г. Долгопрудный, Московская обл.
f Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, г. Москва
g Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, г. Москва
PDF полного текста (1533 kB) Список цитирования (14)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.2018.06.038447
Аннотация: Описаны результаты исследований, посвящённых разработке плазменных источников экстремального ультрафиолетового излучения для литографии нового поколения и разработке методов спектральной диагностики таких источников.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 14-11-00699
Российский фонд фундаментальных исследований 16-02-00753
Работа выполнена при частичной финансовой поддержке Российского научного фонда (проект 14-11-00699) и Российского фонда фундаментальных исследований (договор 16-02-00753).
Поступила: 28 августа 2018 г.
Одобрена в печать: 20 июня 2018 г.
Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 2019, Volume 62, Issue 3, Pages 304–314
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNe.2018.06.038447
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 42.82.Cr, 52.25.Os, 52.59.-f, 52.70.-m, 52.77.-j
Образец цитирования: Д. Б. Абраменко, П. С. Анциферов, Д. И. Астахов, А. Ю. Виноходов, И. Ю. Вичев, Р. Р. Гаязов, А. С. Грушин, Л. А. Дорохин, В. В. Иванов, Д. А. Ким, К. Н. Кошелев, П. В. Крайнов, М. С. Кривокорытов, В. М. Кривцун, Б. В. Лакатош, А. А. Лаш, В. В. Медведев, А. Н. Рябцев, Ю. В. Сидельников, Е. П. Снегирёв, А. Д. Соломянная, М. В. Спиридонов, И. П. Цыгвинцев, О. Ф. Якушев, А. А. Якушкин, “Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)”, УФН, 189:3 (2019), 323–334; Phys. Usp., 62:3 (2019), 304–314
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{AbrAntAst19}
\by Д.~Б.~Абраменко, П.~С.~Анциферов, Д.~И.~Астахов, А.~Ю.~Виноходов, И.~Ю.~Вичев, Р.~Р.~Гаязов, А.~С.~Грушин, Л.~А.~Дорохин, В.~В.~Иванов, Д.~А.~Ким, К.~Н.~Кошелев, П.~В.~Крайнов, М.~С.~Кривокорытов, В.~М.~Кривцун, Б.~В.~Лакатош, А.~А.~Лаш, В.~В.~Медведев, А.~Н.~Рябцев, Ю.~В.~Сидельников, Е.~П.~Снегирёв, А.~Д.~Соломянная, М.~В.~Спиридонов, И.~П.~Цыгвинцев, О.~Ф.~Якушев, А.~А.~Якушкин
\paper Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)
\jour УФН
\yr 2019
\vol 189
\issue 3
\pages 323--334
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ufn6375}
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNr.2018.06.038447}
\adsnasa{https://adsabs.harvard.edu/cgi-bin/bib_query?2019PhyU...62..304A}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=37038658}
\transl
\jour Phys. Usp.
\yr 2019
\vol 62
\issue 3
\pages 304--314
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNe.2018.06.038447}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000469214700010}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85070730766}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn6375
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v189/i3/p323
    Публикации по теме
    Эта публикация цитируется в следующих 14 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи физических наук Physics-Uspekhi
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:297
    PDF полного текста:32
    Список литературы:37
    Первая страница:15
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024