|
Квантовая электроника, 2016, том 46, номер 5, страницы 473–480
(Mi qe16388)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 14 научных статьях (всего в 14 статьях)
Лазеро-плазменный источник ЭУФ излучения
Яркостный источник ЭУФ излучения на основе лазерной плазмы при использовании капельной жидкометаллической мишени
А. Ю. Виноходовa, М. С. Кривокорытовa, Ю. В. Сидельниковba, В. М. Кривцунba, В. В. Медведевba, К. Н. Кошелевba a ООО "ЭУФ Лабс", г. Троицк, г. Москва
b Институт спектроскопии РАН, г. Москва, г. Троицк
Аннотация:
Представлены результаты исследования источника экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения на основе лазерной плазмы, созданной при взаимодействии наносекундного Nd – YAG-лазера с жидкометаллической капельной мишенью из низкотемпературного эвтектического сплава индий – олово. Генератор капель, созданный с использованием промышленного сопла, работал на основе принципа вынужденного капиллярного распада струи. Продемонстрирована долгосрочная пространственная стабильность положения центра масс капли-мишени со среднеквадратичным отклонением ~0.5 мкм. Использование низкотемпературного рабочего вещества вместо чистого олова увеличивало надежность и ресурс работы генератора капель. При средней по времени импульса и пространству плотности мощности лазерного излучения на капельной мишени 4 × 1011 Вт/см2 и диаметре излучающей плазмы ~80 мкм получена средняя эффективность преобразования лазерной энергии в энергию ЭУФ диапазона 13.5 ± 0.135 нм, равная 2.3%/(2π ср). Методом двойного импульса был смоделирован импульсно-периодический режим работы источника и показана возможность его стабильного функционирования c частотой следования импульсов до 8 кГц при частоте генерации капель более 32 кГц, что позволит обеспечить яркость источника ~0.96 кВт /(мм2·ср).
Ключевые слова:
ЭУФ литография, актинический ЭУФ источник, лазерная плазма, Nd – YAG-лазер, генератор жидкометаллических капель, лазерная мишень, пространственная стабильность, эффективность конверсии, яркость источника, спектр ЭУФ излучения.
Поступила в редакцию: 19.01.2016
Образец цитирования:
А. Ю. Виноходов, М. С. Кривокорытов, Ю. В. Сидельников, В. М. Кривцун, В. В. Медведев, К. Н. Кошелев, “Яркостный источник ЭУФ излучения на основе лазерной плазмы при использовании капельной жидкометаллической мишени”, Квантовая электроника, 46:5 (2016), 473–480 [Quantum Electron., 46:5 (2016), 473–480]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe16388 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v46/i5/p473
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 340 | PDF полного текста: | 159 | Список литературы: | 28 | Первая страница: | 20 |
|