Математическое моделирование
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Матем. моделирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Математическое моделирование, 2013, том 25, номер 7, страницы 89–102 (Mi mm3384)  

Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Моделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной in-line в программу радиационной газодинамики

Д. А. Ким, В. Г. Новиков, Г. В. Долголева, К. Н. Кошелев, А. Д. Соломянная

Институт прикладной математики им. М. В. Келдыша РАН, Москва
Список литературы:
Аннотация: Построена модель нестационарной неравновесной излучающей плазмы с учетом поуровневой кинетики и переноса излучения в спектральных линиях. Проведено моделирование разлета и излучения сферической мишени в результате воздействия на нее лазерного импульса. Реализовано численное решение уравнений двухтемпературной 1D-газодинамики в лагранжевой форме. Поле излучения и поуровневая кинетика учитываются самосогласованным образом с применением двух методик: с использованием интерполяции между заранее рассчитанными таблицами спектральных данных и путем включения кинетики in-line в г/д расчет. Получены оценки эффективности конверсии в EUV-излучение для плазмы лития и олова. Данная задача имеет важное прикладное значение для EUV-литографии, применяемой при производстве микрочипов. Полученные результаты для эффективности конверсии при оптимальных параметрах лазерного импульса составляют для лития $\sim1\%$ и для олова $\sim5\%$, что находится в согласии с экспериментальными данными.
Ключевые слова: детальная поуровневая кинетика, EUV-излучение, лазерная плазма, радиационная газодинамика.
Поступила в редакцию: 24.10.2012
Англоязычная версия:
Mathematical Models and Computer Simulations, 2014, Volume 6, Issue 1, Pages 46–55
DOI: https://doi.org/10.1134/S2070048214010086
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Д. А. Ким, В. Г. Новиков, Г. В. Долголева, К. Н. Кошелев, А. Д. Соломянная, “Моделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной in-line в программу радиационной газодинамики”, Матем. моделирование, 25:7 (2013), 89–102; Math. Models Comput. Simul., 6:1 (2014), 46–55
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KimNovDol13}
\by Д.~А.~Ким, В.~Г.~Новиков, Г.~В.~Долголева, К.~Н.~Кошелев, А.~Д.~Соломянная
\paper Моделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной in-line в программу радиационной газодинамики
\jour Матем. моделирование
\yr 2013
\vol 25
\issue 7
\pages 89--102
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/mm3384}
\transl
\jour Math. Models Comput. Simul.
\yr 2014
\vol 6
\issue 1
\pages 46--55
\crossref{https://doi.org/10.1134/S2070048214010086}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-84925943374}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/mm3384
  • https://www.mathnet.ru/rus/mm/v25/i7/p89
    Цикл статей
    Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Математическое моделирование
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024