|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
1990 |
1. |
К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, Д. Р. Илькаев, В. Е. Матюшков, Т. М. Махвиладзе, А. А. Шалапенок, “Влияние пространственной когерентности лазерного излучения на качество изображения в проекционной
системе с растровым осветителем келлеровского типа”, Квантовая электроника, 17:4 (1990), 512–516 [K. A. Valiev, L. V. Velikov, G. S. Volkov, D. Yu. Zaroslov, D. R. Ilkayev, V. E. Matyushkov, T. M. Makhviladze, A. A. Shalapenok, “Influence of spatial coherence of laser radiation on the quality of images in a projection system with a Köhler-type fly's eye illuminator”, Sov J Quantum Electron, 20:4 (1990), 446–450 ] |
2. |
К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, “Исследование характеристик эксимерного лазера с узкой линией генерации”, Квантовая электроника, 17:1 (1990), 43–45 [K. A. Valiev, L. V. Velikov, G. S. Volkov, D. Yu. Zaroslov, “Investigation of the characteristics of an excimer laser with a narrow emission line”, Sov J Quantum Electron, 20:1 (1990), 33–36 ] |
2
|
|
1989 |
3. |
А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, В. А. Никитаев, А. А. Поляков, В. Е. Тукиш, “Механизм формирования скрытого изображения при импульсном лазерном экспонировании позитивного вуф-резиста на основе ПММА, сенсибилизированного антраценом, и кинетика его проявления”, Матем. моделирование, 1:12 (1989), 44–51 |
4. |
А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, В. А. Никитаев, В. Е. Тукиш, “Метод обработки данных интерферометрического контроля растворения резистных пленок”, Матем. моделирование, 1:2 (1989), 160–164 |
|
1987 |
5. |
В. П. Агеев, И. В. Бараненков, К. А. Валиев, Л. В. Великов, В. И. Конов, А. И. Маслаков, В. М. Мельников, A. М. Прохоров, “Применение металлорезинатных пленок в электронной и фотолитографии”, Докл. АН СССР, 294:6 (1987), 1358–1362 |
6. |
К. А. Валиев, Л. В. Великов, А. С. Крамаренко, Г. С. Волков, А. И. Маслаков, “Определение проецированного пробега ионов в полимерных резистах”, ЖТФ, 57:9 (1987), 1858–1860 |
7. |
К. А. Валиев, Л. В. Великов, С. Д. Душенков, “Образование пор в ПММА в процессе рентгеновского экспонирования”, ЖТФ, 57:7 (1987), 1445–1448 |
8. |
К. А. Валиев, Л. В. Великов, С. Д. Душенков, М. И. Иванова, “Влияние ультрафиолетового облучения на водорастворимость полимерных пленок”, Письма в ЖТФ, 13:24 (1987), 1473–1476 |
9. |
Ю. М. Александров, К. А. Валиев, Л. В. Великов, С. Д. Душенков, А. И. Коломийцев, М. А. Кумахов, И. Ю. Пономарев, М. Н. Якименко, “Траспортировка мягкого рентгеновского излучения по оптическому световоду”, Письма в ЖТФ, 13:5 (1987), 257–260 |
10. |
К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, “Когерентность излучения ХеО-лазера”, Квантовая электроника, 14:6 (1987), 1266–1268 [K. A. Valiev, L. V. Velikov, G. S. Volkov, D. Yu. Zaroslov, “Coherence of XeCl laser radiation”, Sov J Quantum Electron, 17:6 (1987), 806–808 ] |
4
|
|
1985 |
11. |
Ю. Б. Америк, К. А. Валиев, Л. В. Великов, С. Д. Душенков, Т. М. Махвиладзе, A. М. Прохоров, Л. А. Широкова, “Фототравление полимеров в условиях цепной деполимеризации макромолекул”, Докл. АН СССР, 280:5 (1985), 1106–1110 |
12. |
К. А. Валиев, Л. В. Великов, Р. Х. Махмутов, А. М. Прохоров, “Высоковольтная электронная литография через трафаретные шаблоны”, Письма в ЖТФ, 11:17 (1985), 1048–1053 |
13. |
А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, А. М. Прохоров, “Наносекундная одноимпульсная лазерная литография”, Письма в ЖТФ, 11:17 (1985), 1025–1030 |
14. |
А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, А. П. Захаров, A. М. Прохоров, “Особенности использования импульсных УФ лазеров в фотолитографии”, Квантовая электроника, 12:12 (1985), 2498–2501 [A. L. Bogdanov, K. A. Valiev, L. V. Velikov, D. Yu. Zaroslov, A. P. Zakharov, A. M. Prokhorov, “Characteristics of the use of pulsed ultraviolet lasers in photolithography”, Sov J Quantum Electron, 15:12 (1985), 1654–1656 ] |
1
|
|
1984 |
15. |
К. А. Валиев, Л. В. Великов, С. Д. Душенков, A. M. Прохоров, М. Н. Филиппов, “Фототравление предварительно облученных полимерных пленок”, Письма в ЖТФ, 10:10 (1984), 577–581 |
|
1983 |
16. |
К. А. Валиев, Л. В. Великов, С. Д. Душенков, А. В. Митрофанов, “Дозиметрия мягкого рентгеновского излучения
и вакуумного ультрафиолета,
основанная на эффекте фототравления”, ЖТФ, 53:3 (1983), 583–585 |
|
1974 |
17. |
Л. В. Великов, Ю. М. Гуфан, А. С. Прохоров, Е. Г. Рудашевский, “О проблеме адекватного феноменологического описания магнитных диэлектриков”, Докл. АН СССР, 219:6 (1974), 1341–1344 |
|