Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1987, том 14, номер 6, страницы 1266–1268 (Mi qe9364)  

Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

Параметры лазерного излучения

Когерентность излучения ХеО-лазера

К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов

Институт общей физики АН СССР, Москва
Аннотация: На основе интерферометра Майкельсона создана экспериментальная установка для измерения продольных и поперечных корреляционных функций поля лазерного излучения. Исследована когерентность излучения эксимерного XeCl-лазера. Измерены длина, радиус и коэффициенты когерентности. Обнаружено, что радиусы когерентности различны для разных направлений по апертуре лазерного пучка. Обсуждается роль когерентности излучения при использовании эксимерных лазеров в системах проекционной фотолитографии.
Поступила в редакцию: 20.01.1987
Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1987, Volume 17, Issue 6, Pages 806–808
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1987v017n06ABEH009364
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 621,373.826.038.823
PACS: 42.55.Lt, 07.60.Ly, 42.60.Jf, 42.82.Cr


Образец цитирования: К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, “Когерентность излучения ХеО-лазера”, Квантовая электроника, 14:6 (1987), 1266–1268 [Sov J Quantum Electron, 17:6 (1987), 806–808]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe9364
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v14/i6/p1266
  • Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:125
    PDF полного текста:67
    Первая страница:1
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024