К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, “Когерентность излучения ХеО-лазера”, Квантовая электроника, 14:6 (1987), 1266–1268 [Sov J Quantum Electron, 17:6 (1987), 806

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 1987, том 14, номер 6, страницы 1266–1268 (Mi qe9364)

Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

Параметры лазерного излучения

Когерентность излучения ХеО-лазера

К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов

Институт общей физики АН СССР, Москва

PDF полного текста (533 kB) Список цитирования (4)

Аннотация: На основе интерферометра Майкельсона создана экспериментальная установка для измерения продольных и поперечных корреляционных функций поля лазерного излучения. Исследована когерентность излучения эксимерного XeCl-лазера. Измерены длина, радиус и коэффициенты когерентности. Обнаружено, что радиусы когерентности различны для разных направлений по апертуре лазерного пучка. Обсуждается роль когерентности излучения при использовании эксимерных лазеров в системах проекционной фотолитографии.

Поступила в редакцию: 20.01.1987

Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1987, Volume 17, Issue 6, Pages 806–808
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1987v017n06ABEH009364

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

УДК: 621,373.826.038.823

PACS: 42.55.Lt, 07.60.Ly, 42.60.Jf, 42.82.Cr

Образец цитирования: К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, “Когерентность излучения ХеО-лазера”, Квантовая электроника, 14:6 (1987), 1266–1268 [Sov J Quantum Electron, 17:6 (1987), 806–808]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe9364

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v14/i6/p1266

Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Статистика просмотров:
Страница аннотации:	116
PDF полного текста:	63
Первая страница:	1

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы