|
Квантовая электроника, 1987, том 14, номер 6, страницы 1266–1268
(Mi qe9364)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Параметры лазерного излучения
Когерентность излучения ХеО-лазера
К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов Институт общей физики АН СССР, Москва
Аннотация:
На основе интерферометра Майкельсона создана экспериментальная установка для измерения продольных и поперечных корреляционных функций поля лазерного излучения. Исследована когерентность излучения эксимерного XeCl-лазера. Измерены длина, радиус и коэффициенты когерентности. Обнаружено, что радиусы когерентности различны для разных направлений по апертуре лазерного пучка. Обсуждается роль когерентности излучения при использовании эксимерных лазеров в системах проекционной фотолитографии.
Поступила в редакцию: 20.01.1987
Образец цитирования:
К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, “Когерентность излучения ХеО-лазера”, Квантовая электроника, 14:6 (1987), 1266–1268 [Sov J Quantum Electron, 17:6 (1987), 806–808]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe9364 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v14/i6/p1266
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 116 | PDF полного текста: | 63 | Первая страница: | 1 |
|