К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, “Исследование характеристик эксимерного лазера с узкой линией генерации”, Квантовая электроника, 17:1 (1990), 43–45 [Sov J Quantum Electron, 20:1 (1990), 33

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 1990, том 17, номер 1, страницы 43–45 (Mi qe4786)

Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Управление параметрами лазерного излучения

Исследование характеристик эксимерного лазера с узкой линией генерации

К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов

Институт общей физики АН СССР, г. Москва

PDF полного текста (935 kB) Список цитирования (2)

Аннотация: Исследована пространственная когерентность излучения эксимерных лазеров в различных геометриях резонатора. Получена генерация с шириной спектра 5 пм в схеме с решеткой в автоколлимационном режиме и четырехпризменным телескопом. Обсуждаются вопросы, связанные с использованием эксимерных лазеров с узкой линией генерации в проекционных фотолитографических системах.

Поступила в редакцию: 14.12.1988

Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1990, Volume 20, Issue 1, Pages 33–36
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1990v020n01ABEH004786

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

УДК: 621.373.826.038.823

PACS: 42.55.Lt, 42.60.Jf, 42.60.Da, 42.79.Dj, 42.79.Bh

Образец цитирования: К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, “Исследование характеристик эксимерного лазера с узкой линией генерации”, Квантовая электроника, 17:1 (1990), 43–45 [Sov J Quantum Electron, 20:1 (1990), 33–36]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe4786

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v17/i1/p43

Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Статистика просмотров:
Страница аннотации:	131
PDF полного текста:	92
Первая страница:	1

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы