Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1990, том 17, номер 1, страницы 43–45 (Mi qe4786)  

Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Управление параметрами лазерного излучения

Исследование характеристик эксимерного лазера с узкой линией генерации

К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов

Институт общей физики АН СССР, г. Москва
Аннотация: Исследована пространственная когерентность излучения эксимерных лазеров в различных геометриях резонатора. Получена генерация с шириной спектра 5 пм в схеме с решеткой в автоколлимационном режиме и четырехпризменным телескопом. Обсуждаются вопросы, связанные с использованием эксимерных лазеров с узкой линией генерации в проекционных фотолитографических системах.
Поступила в редакцию: 14.12.1988
Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1990, Volume 20, Issue 1, Pages 33–36
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1990v020n01ABEH004786
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 621.373.826.038.823
PACS: 42.55.Lt, 42.60.Jf, 42.60.Da, 42.79.Dj, 42.79.Bh


Образец цитирования: К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, “Исследование характеристик эксимерного лазера с узкой линией генерации”, Квантовая электроника, 17:1 (1990), 43–45 [Sov J Quantum Electron, 20:1 (1990), 33–36]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe4786
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v17/i1/p43
  • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:130
    PDF полного текста:92
    Первая страница:1
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024