|
Квантовая электроника, 1990, том 17, номер 1, страницы 43–45
(Mi qe4786)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Управление параметрами лазерного излучения
Исследование характеристик эксимерного лазера с узкой линией генерации
К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов Институт общей физики АН СССР, г. Москва
Аннотация:
Исследована пространственная когерентность излучения эксимерных лазеров в различных геометриях резонатора. Получена генерация с шириной спектра 5 пм в схеме с решеткой в автоколлимационном режиме и четырехпризменным телескопом. Обсуждаются вопросы, связанные с использованием эксимерных лазеров
с узкой линией генерации в проекционных фотолитографических системах.
Поступила в редакцию: 14.12.1988
Образец цитирования:
К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, “Исследование характеристик эксимерного лазера с узкой линией генерации”, Квантовая электроника, 17:1 (1990), 43–45 [Sov J Quantum Electron, 20:1 (1990), 33–36]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe4786 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v17/i1/p43
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 115 | PDF полного текста: | 77 | Первая страница: | 1 |
|