А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, А. П. Захаров, A. М. Прохоров, “Особенности использования импульсных УФ лазеров в фотолитографии”, Квантовая электроника, 12:12 (1985), 2498–2501 [Sov J Quantum Electron, 15:12 (1985), 1654

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 1985, том 12, номер 12, страницы 2498–2501 (Mi qe8096)

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Краткие сообщения

Особенности использования импульсных УФ лазеров в фотолитографии

А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, А. П. Захаров, A. М. Прохоров

Институт общей физики АН СССР, Москва

PDF полного текста (834 kB) Список цитирования (1)

Аннотация: Отмечены особенности применения импульсных УФ лазеров в фотолитографии, такие как высокая импульсная мощность и монохроматичность лазерного излучения. Изложены результаты экспериментальных исследований фотолитографического процесса при использовании импульсного азотного лазера с λ = 337 нм. В фоторезисте ФП-617 получены структуры размерами 1,2–1,3 λ.

Поступила в редакцию: 14.03.1985

Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1985, Volume 15, Issue 12, Pages 1654–1656
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1985v015n12ABEH008096

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

УДК: 621.3.049.77.022:621.373.826

PACS: 42.55.Lt, 42.60.Jf, 42.82.Cr

Образец цитирования: А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, А. П. Захаров, A. М. Прохоров, “Особенности использования импульсных УФ лазеров в фотолитографии”, Квантовая электроника, 12:12 (1985), 2498–2501 [Sov J Quantum Electron, 15:12 (1985), 1654–1656]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe8096

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v12/i12/p2498

Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:

И. А. Артюков, Квантовая электроника, 52:12 (2022), 1094–1101 ; Bull. Lebedev Physics Institute, 50:suppl. 4 (2023), S426–S434

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Статистика просмотров:
Страница аннотации:	277
PDF полного текста:	129
Первая страница:	1

Что такое QR-код?

Обратная связь:
math-net2025_04@mi-ras.ru

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы