|
Квантовая электроника, 1985, том 12, номер 12, страницы 2498–2501
(Mi qe8096)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Краткие сообщения
Особенности использования импульсных УФ лазеров в фотолитографии
А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, А. П. Захаров, A. М. Прохоров Институт общей физики АН СССР, Москва
Аннотация:
Отмечены особенности применения импульсных УФ лазеров в фотолитографии, такие как высокая импульсная мощность и монохроматичность лазерного излучения. Изложены результаты экспериментальных исследований фотолитографического процесса при использовании импульсного азотного лазера с λ = 337 нм. В фоторезисте ФП-617 получены структуры размерами 1,2–1,3 λ.
Поступила в редакцию: 14.03.1985
Образец цитирования:
А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, А. П. Захаров, A. М. Прохоров, “Особенности использования импульсных УФ лазеров в фотолитографии”, Квантовая электроника, 12:12 (1985), 2498–2501 [Sov J Quantum Electron, 15:12 (1985), 1654–1656]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe8096 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v12/i12/p2498
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 219 | PDF полного текста: | 105 | Первая страница: | 1 |
|