Аннотация:
Теоретически рассматривается вопрос о пространственной локализации свободных электронов в 4H-SiC МОП-транзисторах с обогащенным и инверсным n-каналом. Анализ показал, что в оптимально сконструированных транзисторах с обогащенным каналом среднее расстояние, на котором свободные электроны локализованы от поверхности 4H-SiC, может быть на порядок больше по сравнению с транзисторами с инверсным каналом. Это должно давать транзисторам с обогащенным каналом преимущество по эффективной подвижности электронов в проводящем канале.
Поступила в редакцию: 19.10.2016 Принята в печать: 08.06.2017
Образец цитирования:
П. А. Иванов, “О пространственной локализации свободных электронов в n-канальных МОП-транзисторах на основе 4H-SiC”, Физика и техника полупроводников, 52:1 (2018), 105–109; Semiconductors, 52:1 (2018), 100–104