Подложки для мягкой рентгеновской микроскопии на основе Si$_3$N$_4$ мембран

Экспериментально были получены мембраны из нитрида кремния в качестве подложек для биологических образцов, которые исследованы на микроскопе с рабочей длиной волны 13.8 nm. Полученные свободно висящие пленки имели размер до 1.5 $\times$ 1.5 mm, что позволило выбрать интересную для исследования область на образце порядка десятков – сотен микрон. Механическая прочность мембран удовлетворяет требованию, чтобы образцы не рвали мембраны и выдерживали транспортировку. Полученные мембраны имеют прозрачность более 40% в диапазоне “окна прозрачности воды” (2.3–4.4 nm) и экстремальный ультрафиолет (13–15 nm).