Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js
Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2023, том 93, выпуск 7, страницы 1025–1031
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2023.07.55764.91-23 (Mi jtf7045) 		 
XXVII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'' Н. Новгород, 13-16 марта, 2023 г.
Физическая электроника

Особенности трансформации микрорельефа структур “кремний на изоляторе” при воздействии фотонных и корпускулярных излучений

Б. А. Логиновa, Д. Ю. Блинниковb, В. С. Второваb, В. В. Кирилловаb, Е. А. Ляшкоb, В. С. Макеевb, А. Р. Первыхb, Н. Д. Абросимоваc, И. Ю. Забавичевcd, А. С. Пузановcd, Е. В. Волковаd, Е. А. Тарасоваd, С. В. Оболенскийcd

a Московский государственный институт электронной техники (технический университет), 124498 Зеленоград, Москва, Россия
b Образовательный центр "Сириус", 354349 Сочи, Россия
c Российский федеральный ядерный центр – Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики, филиал Российского федерального ядерного центра – Всероссийского научно-исследовательского института экспериментальной физики "Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е. Седакова", 603950 Нижний Новгород, Россия
d Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, 603600 Нижний Новгород, Россия
PDF полного текста (1321 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2023.07.55764.91-23
Аннотация: Приведены результаты исследований параметров микрорельефа и электрофизических характеристик структур “кремний на изоляторе” после воздействия гамма- и гамма-нейтронного излучения. Экспериментальные исследования проведены методами атомно-силовой микроскопии и псевдо-МДП транзистора. На основе полученных данных проведена оценка эффективного радиуса ядер кластеров радиационных дефектов.
Ключевые слова: атомно-силовая микроскопия, кремний на изоляторе, “допороговое” дефектообразование, кластеры радиационных дефектов.
Финансовая поддержка Номер гранта
Национальный центр физики и математики
Исследование выполнено в рамках научной программы Национального центра физики и математики (проект “Ядерная и радиационная физика”).
Поступила в редакцию: 04.05.2023
Исправленный вариант: 04.05.2023
Принята в печать: 04.05.2023
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Б. А. Логинов, Д. Ю. Блинников, В. С. Второва, В. В. Кириллова, Е. А. Ляшко, В. С. Макеев, А. Р. Первых, Н. Д. Абросимова, И. Ю. Забавичев, А. С. Пузанов, Е. В. Волкова, Е. А. Тарасова, С. В. Оболенский, “Особенности трансформации микрорельефа структур “кремний на изоляторе” при воздействии фотонных и корпускулярных излучений”, ЖТФ, 93:7 (2023), 1025–1031
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{LogBliVto23}
\by Б.~А.~Логинов, Д.~Ю.~Блинников, В.~С.~Второва, В.~В.~Кириллова, Е.~А.~Ляшко, В.~С.~Макеев, А.~Р.~Первых, Н.~Д.~Абросимова, И.~Ю.~Забавичев, А.~С.~Пузанов, Е.~В.~Волкова, Е.~А.~Тарасова, С.~В.~Оболенский
\paper Особенности трансформации микрорельефа структур ``кремний на изоляторе'' при воздействии фотонных и корпускулярных излучений
\jour ЖТФ
\yr 2023
\vol 93
\issue 7
\pages 1025--1031
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf7045}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2023.07.55764.91-23}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=54384508}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf7045
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v93/i7/p1025
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:11
    PDF полного текста:1
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025