Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js
Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2023, том 93, выпуск 7, страницы 1037–1045
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2023.07.55766.107-23 (Mi jtf7047) 		 
XXVII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'' Н. Новгород, 13-16 марта, 2023 г.
Физическая электроника

Нанесение жидкого стекла на подложки оптических элементов и его молекулярный состав

Д. В. Петроваab, М. С. Михайленкоa, М. В. Зоринаa, М. Н. Дроздовa, А. Е. Пестовa, Н. И. Чхалоa

a Институт физики микроструктур РАН, 607680 Нижний Новгород, Россия
b Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, 603950 Нижний Новгород, Россия
PDF полного текста (993 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2023.07.55766.107-23
Аннотация: Представлены результаты, полученные при нанесении раствора жидкого стекла на подложки оптических элементов, с последующим их травлением ионным пучком. Особое внимание уделено шероховатости поверхности оптического элемента как после нанесения жидкого стекла, так и после травления. Проведены исследования пленки наносимого состава стекла с помощью вторичной ионной масс-спектрометрии.
Ключевые слова: жидкое стекло, пленки, шероховатости, полировка, ионное травление, вторичная ионная масс-спектрометрия.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 21-72-30029
Работа выполнена при финансовой поддержке гранта РНФ № 21-72-30029.
Поступила в редакцию: 02.05.2023
Исправленный вариант: 02.05.2023
Принята в печать: 02.05.2023
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Д. В. Петрова, М. С. Михайленко, М. В. Зорина, М. Н. Дроздов, А. Е. Пестов, Н. И. Чхало, “Нанесение жидкого стекла на подложки оптических элементов и его молекулярный состав”, ЖТФ, 93:7 (2023), 1037–1045
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PetMikZor23}
\by Д.~В.~Петрова, М.~С.~Михайленко, М.~В.~Зорина, М.~Н.~Дроздов, А.~Е.~Пестов, Н.~И.~Чхало
\paper Нанесение жидкого стекла на подложки оптических элементов и его молекулярный состав
\jour ЖТФ
\yr 2023
\vol 93
\issue 7
\pages 1037--1045
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf7047}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2023.07.55766.107-23}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=54384510}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf7047
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v93/i7/p1037
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:20
    PDF полного текста:3
     
      Обратная связь:
    math-net2025_03@mi-ras.ru     		 Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025