Исследование дефектной структуры монокристаллических кремниевых пластин с использованием синхротронного излучения

Представлены результаты исследований дефектной структуры поверхностных слоев монокристаллов с помощью двухкристальной топографии в геометрии Брэгга с использованием синхротронного излучения, а также особенностей дифракции синхротронного излучения от деформированных монокристаллических пластин.