|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
2019 |
| 1. |
Д. Б. Абраменко, П. С. Анциферов, Д. И. Астахов, А. Ю. Виноходов, И. Ю. Вичев, Р. Р. Гаязов, А. С. Грушин, Л. А. Дорохин, В. В. Иванов, Д. А. Ким, К. Н. Кошелев, П. В. Крайнов, М. С. Кривокорытов, В. М. Кривцун, Б. В. Лакатош, А. А. Лаш, В. В. Медведев, А. Н. Рябцев, Ю. В. Сидельников, Е. П. Снегирёв, А. Д. Соломянная, М. В. Спиридонов, И. П. Цыгвинцев, О. Ф. Якушев, А. А. Якушкин, “Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)”, УФН, 189:3 (2019), 323–334   ; D. B. Abramenko, P. S. Antsiferov, D. I. Astakhov, A. Yu. Vinokhodov, I. Yu. Vichev, R. R. Gayazov, A. S. Grushin, L. A. Dorokhin, V. V. Ivanov, D. A. Kim, K. N. Koshelev, P. V. Krainov, M. S. Krivokorytov, V. M. Krivtsun, B. V. Lakatosh, A. A. Lash, V. V. Medvedev, A. N. Ryabtsev, Yu. V. Sidelnikov, E. P. Snegirev, A. D. Solomyannaya, M. V. Spiridonov, I. P. Tsygvintsev, O. F. Yakushev, A. A. Yakushkin, “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection (50th anniversary of the Institute of Spectroscopy, Russian Academy of Sciences)”, Phys. Usp., 62:3 (2019), 304–314   |
18
|
|
2018 |
| 2. |
И. Ю. Вичев, И. П. Цыгвинцев, Б. Л. Ярцев, М. С. Кривокорытов, В. В. Медведев, “Численное моделирование поведения струи после воздействия лазерного импульса”, Препринты ИПМ им. М. В. Келдыша, 2018, 114, 25 стр. |
|
2016 |
| 3. |
А. Ю. Виноходов, М. С. Кривокорытов, Ю. В. Сидельников, В. М. Кривцун, В. В. Медведев, К. Н. Кошелев, “Яркостный источник ЭУФ излучения на основе лазерной плазмы при использовании капельной жидкометаллической мишени”, Квантовая электроника, 46:5 (2016), 473–480 [A. Yu. Vinokhodov, M. S. Krivokorytov, Yu. V. Sidelnikov, V. M. Krivtsun, V. V. Medvedev, K. N. Koshelev, “High brightness EUV sources based on laser plasma at using droplet liquid metal target”, Quantum Electron., 46:5 (2016), 473–480 ] |
14
|
| 4. |
А. Ю. Виноходов, К. Н. Кошелев, В. М. Кривцун, М. С. Кривокорытов, Ю. В. Сидельников, В. В. Медведев, В. О. Компанец, А. А. Мельников, С. В. Чекалин, “Формирование мелкодисперсной жидкометаллической мишени под действием лазерных импульсов фемто- и пикосекундной длительности для лазерного плазменного источника в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне”, Квантовая электроника, 46:1 (2016), 23–28 [A. Yu. Vinokhodov, K. N. Koshelev, V. M. Krivtsun, M. S. Krivokorytov, Yu. V. Sidelnikov, V. V. Medvedev, V. O. Kompanets, A. A. Melnikov, S. V. Chekalin, “Formation of a fine-dispersed liquid-metal target under the action of femto- and picosecond laser pulses for a laser-plasma radiation source in the extreme ultraviolet range”, Quantum Electron., 46:1 (2016), 23–28 ] |
21
|
|
Обратная связь: