Успехи физических наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи физических наук, 2003, том 173, номер 8, страницы 813–846
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.0173.200308b.0813 (Mi ufn2163) 		 
Эта публикация цитируется в 34 научных статьях (всего в 34 статьях)

ОБЗОРЫ АКТУАЛЬНЫХ ПРОБЛЕМ

Дефектно-примесная инженерия в имплантированном кремнии

А. Р. Челядинскийa, Ф. Ф. Комаровb

a Белорусский государственный университет, физический факультет
b НИИ прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко, Белорусский государственный университет
PDF полного текста (8285 kB) Список цитирования (34)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.0173.200308b.0813
Аннотация: Изложены основные результаты исследований дефектно-примесного взаимодействия в имплантированном кремнии. Проанализированы факторы, влияющие на протекание квазихимических реакций: температура, уровень ионизации, внутренние электрические поля и поля упругих напряжений. Рассмотрены методы подавления образования остаточных нарушений (стержнеобразные дефекты, дислокационные петли), методы снижения коэффициентов диффузии примесей в имплантированном кремнии и методы геттерирования металлических примесей. Представлены примеры практической реализации дефектно-примесной инженерии в микроэлектронике.
Поступила: 27 ноября 2002 г.
Доработана: 29 апреля 2003 г.
Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 2003, Volume 46, Issue 8, Pages 789–820
DOI: https://doi.org/10.1070/PU2003v046n08ABEH001371
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 61.72.Cc, 61.72.Tt, 61.72.Yx
Образец цитирования: А. Р. Челядинский, Ф. Ф. Комаров, “Дефектно-примесная инженерия в имплантированном кремнии”, УФН, 173:8 (2003), 813–846; Phys. Usp., 46:8 (2003), 789–820
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{CheKom03}
\by А.~Р.~Челядинский, Ф.~Ф.~Комаров
\paper Дефектно-примесная инженерия в имплантированном кремнии
\jour УФН
\yr 2003
\vol 173
\issue 8
\pages 813--846
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ufn2163}
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNr.0173.200308b.0813}
\adsnasa{https://adsabs.harvard.edu/cgi-bin/bib_query?2003PhyU...46..789C}
\transl
\jour Phys. Usp.
\yr 2003
\vol 46
\issue 8
\pages 789--820
\crossref{https://doi.org/10.1070/PU2003v046n08ABEH001371}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000187205200002}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn2163
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v173/i8/p813
    • Эта публикация цитируется в следующих 34 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи физических наук Physics-Uspekhi
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024