Модификация поверхности и сохранение объемных свойств пьезоэлектрической керамики под воздействием потока водородной плазмы

Представлены экспериментальные результаты импульсного воздействия водородной плазмы на пьезоэлектрическую керамику на примере отечественного состава ЦТСНВ-1. Выявлены значительные изменения элементного состава и рельефа поверхности с характерной глубиной модифицированного слоя порядка 20 $\mu$m. Исследование пьезоэлектрических свойств ЦТСНВ-1 после воздействия водородной плазмы (интегральный поток частиц до $\sim$10$^{23}$ m$^{-2}$, энергия $\sim$100 eV) показало снижение коэффициента электромеханической связи толщинной моды $k_t$ образцов (с $\sim$0.6 до $\sim$0.3) при сохранении величин пьезомодуля $d_{33}$ в пределах 450 $\pm$ 50 pm/V и диэлектрической проницаемости $\varepsilon_{33}$ в пределах 2250 $\pm$ 560, что соответствует данным производителя по разбросу этих величин для стандартных образцов.