|
Проблемы физики, математики и техники, 2020, выпуск 3(44), страницы 44–49
(Mi pfmt726)
|
|
|
|
ФИЗИКА
Исследование процесса лазерного раскалывания двухслойных структур из пластин кремния и стеклянных подложек
Ю. В. Никитюк Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины
Аннотация:
В работе выполнено численное моделирования процесса лазерного раскалывания двухслойных структур из монокристаллического кремния и стекла при воздействии на обрабатываемое изделие лазерных пучков с длинами волн равными 1,06 мкм и 10,6 мкм и хладагента. Расчет термоупругих полей, формируемых в двухслойной пластине в результате
лазерного нагрева, осуществлялся для трех срезов кристаллов кремния: (100), (110), (111). Анализ полученных результатов был проведен как для случая обработки со стороны стеклянного слоя, так и для случая обработки со стороны монокристаллического кремния. Результаты, полученные в работе, могут быть использованы при оптимизации процесса
прецизионного разделения двухслойных структур из монокристаллического кремния и стекла.
Ключевые слова:
трещина, лазерное раскалывание, кремниевая пластина.
Поступила в редакцию: 27.07.2020
Образец цитирования:
Ю. В. Никитюк, “Исследование процесса лазерного раскалывания двухслойных структур из пластин кремния и стеклянных подложек”, ПФМТ, 2020, № 3(44), 44–49
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pfmt726 https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2020/i3/p44
|
|