Проблемы физики, математики и техники
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ПФМТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Проблемы физики, математики и техники, 2020, выпуск 3(44), страницы 44–49 (Mi pfmt726)  

ФИЗИКА

Исследование процесса лазерного раскалывания двухслойных структур из пластин кремния и стеклянных подложек

Ю. В. Никитюк

Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины
Список литературы:
Аннотация: В работе выполнено численное моделирования процесса лазерного раскалывания двухслойных структур из монокристаллического кремния и стекла при воздействии на обрабатываемое изделие лазерных пучков с длинами волн равными 1,06 мкм и 10,6 мкм и хладагента. Расчет термоупругих полей, формируемых в двухслойной пластине в результате лазерного нагрева, осуществлялся для трех срезов кристаллов кремния: (100), (110), (111). Анализ полученных результатов был проведен как для случая обработки со стороны стеклянного слоя, так и для случая обработки со стороны монокристаллического кремния. Результаты, полученные в работе, могут быть использованы при оптимизации процесса прецизионного разделения двухслойных структур из монокристаллического кремния и стекла.
Ключевые слова: трещина, лазерное раскалывание, кремниевая пластина.
Поступила в редакцию: 27.07.2020
Тип публикации: Статья
УДК: 621.373.826
Образец цитирования: Ю. В. Никитюк, “Исследование процесса лазерного раскалывания двухслойных структур из пластин кремния и стеклянных подложек”, ПФМТ, 2020, № 3(44), 44–49
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Nik20}
\by Ю.~В.~Никитюк
\paper Исследование процесса лазерного раскалывания двухслойных структур из пластин кремния и стеклянных подложек
\jour ПФМТ
\yr 2020
\issue 3(44)
\pages 44--49
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pfmt726}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt726
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2020/i3/p44
  • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Проблемы физики, математики и техники
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:74
    PDF полного текста:40
    Список литературы:19
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024