Структура и механические свойства композиционных титан-углеродных покрытий, формируемых комбинированным методом

Рассмотрены особенности структуры, фазового состава и механические свойства (нанотвердость, модуль Юнга, коэффициенты трения и износа) композиционных титан-углеродных покрытий, осажденных ионно-плазменным методом в атмосфере углеводородного газа при различном давлении. Установлено, что углеродные титансодержащие покрытия, осаждаемые в среде углеводородного газа, характеризуются меньшей степенью структурной упорядоченности и более низким размером Сsp$^2$-кластеров по сравнению с покрытиями, сформированными при отсутствии углеводородного газа. При этом регистрируется значительное снижение шероховатости и уменьшение микротвердости. Показано, что при введении в камеру С$_3$H$_8$ до давлений, не превышающих $6,7\times10^{-2}$ Па, происходит резкое снижение коэффициента трения (до значений $0,15$) и износа контртела ($0,023\times10^{-13}$[м$^3$/(Н$\times$м)]). При дальнейшем повышении давления реактивного газа наблюдается увеличение коэффициента трения и износ контртела.