|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
2023 |
| 1. |
В. В. Емельянов, А. Н. Купо, В. А. Емельянов, “Феноменологическая модель травления металлического покрытия в плазме газовой смеси”, ПФМТ, 2023, № 4(57), 69–73  |
| 2. |
А. Н. Купо, В. В. Емельянов, В. А. Емельянов, “Моделирование влияния инфракрасного излучения на фазовый состав покрытий диоксида кремния”, ПФМТ, 2023, № 3(56), 64–68 |
| 3. |
В. В. Емельянов, А. Н. Купо, В. А. Емельянов, “Моделирование плазмохимического травления функционального слоя нитрида кремния на подслое диоксида кремния в технологиях микроэлектроники”, ПФМТ, 2023, № 3(56), 60–63 |
|
Обратная связь: