|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
2023 |
| 1. |
В. В. Емельянов, А. Н. Купо, В. А. Емельянов, “Феноменологическая модель травления металлического покрытия в плазме газовой смеси”, ПФМТ, 2023, № 4(57), 69–73  |
| 2. |
А. С. Руденков, Д. Г. Пилипцов, А. Н. Купо, С. А. Фролов, “Структура и механические свойства углеродных покрытий, легированных цирконием и кремнием”, ПФМТ, 2023, № 4(57), 42–47 |
| 3. |
А. Н. Купо, В. В. Емельянов, В. А. Емельянов, “Моделирование влияния инфракрасного излучения на фазовый состав покрытий диоксида кремния”, ПФМТ, 2023, № 3(56), 64–68 |
| 4. |
В. В. Емельянов, А. Н. Купо, В. А. Емельянов, “Моделирование плазмохимического травления функционального слоя нитрида кремния на подслое диоксида кремния в технологиях микроэлектроники”, ПФМТ, 2023, № 3(56), 60–63 |
|
2022 |
| 5. |
А. С. Руденков, А. В. Рогачев, С. М. Завадский, А. Н. Купо, “Структура и механические свойства кремний-углеродных покрытий, легированных хромом”, ПФМТ, 2022, № 2(51), 52–57 |
|
2020 |
| 6. |
А. С. Руденков, М. А. Ярмоленко, А. Н. Купо, “Влияние ионно-плазменного азотирования на структуру осажденных из газовой фазы покрытий на основе целлюлозы и углеродных нанотрубок”, ПФМТ, 2020, № 4(45), 62–67 |
|
Обратная связь: