Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2023, том 93, выпуск 7, страницы 1054–1058
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2023.07.55769.67-23 (Mi jtf7050) 		 
XXVII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'' Н. Новгород, 13-16 марта, 2023 г.
Физические приборы и методы эксперимента

Применение просвечивающей электронной микроскопии для исследования функционального наноэлемента

К. Е. Приходькоab, М. М. Дементьеваa

a Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", 123182 Москва, Россия
b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", 115409 Москва, Россия
PDF полного текста (622 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2023.07.55769.67-23
Аннотация: С использованием зондового метода сфокусированного ионного пучка был вырезан образец поперечного среза единичного функционального элемента микронных размеров – элемента индуктивности, изготовленного из сверхпроводящего нанопровода, для проведения ПРЭМ (просвечивающая растровая электронная микроскопия) и ПЭМ (просвечивающая электронная микроскопия) исследований. Применение аналитических методов ПЭМ позволило получить точные данные о геометрических параметрах сечения нанопровода, фазовом и элементном составе сверхпроводящего материала элемента, а также о концентрации свободных электронов на уровне Ферми.
Ключевые слова: просвечивающая растровая электронная микроскопия, просвечивающая электронная микроскопия высокого разрешения, тонкие сверхпроводящие пленки NbN, криогенный элемент индуктивности; спектроскопия энергетических потерь энергии электронов.
Поступила в редакцию: 06.04.2023
Исправленный вариант: 06.04.2023
Принята в печать: 06.04.2023
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: К. Е. Приходько, М. М. Дементьева, “Применение просвечивающей электронной микроскопии для исследования функционального наноэлемента”, ЖТФ, 93:7 (2023), 1054–1058
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PriDem23}
\by К.~Е.~Приходько, М.~М.~Дементьева
\paper Применение просвечивающей электронной микроскопии для исследования функционального наноэлемента
\jour ЖТФ
\yr 2023
\vol 93
\issue 7
\pages 1054--1058
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf7050}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2023.07.55769.67-23}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=54384513}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf7050
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v93/i7/p1054
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:16
    PDF полного текста:3
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025