Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js
Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2023, том 93, выпуск 7, страницы 1051–1053
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2023.07.55768.115-23 (Mi jtf7049) 		 
XXVII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'' Н. Новгород, 13-16 марта, 2023 г.
Физическая электроника

Изучение угловых зависимостей скоростей ионно-пучкового распыления металлов для синтеза заготовок фотошаблонов

М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, 607680 Нижний Новгород, Россия
PDF полного текста (185 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2023.07.55768.115-23
Аннотация: Рассмотрено применение никеля как альтернативного материала-поглотителя при изготовлении заготовки маски для литографии в окрестности длины волны 11.2 nm. Установлено значение оптимального угла для эффективного распыления источниками ускоренных ионов аргона мишеней из Ru, Be и Ni для изготовления многослойной структуры Ru/Be с верхним слоем из Ni. Показано, что при угле 60$^\circ$ скорость травления всех трех материалов составляет 35 $\pm$ 5 nm/min для ионов аргона с энергией 800 eV при плотности ионного тока 0.5 mA/cm$^2$.
Ключевые слова: литография, фотошаблон, рентгеновское зеркало, ионное распыление, ионное травление.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации 075-15-2021-1350
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации (соглашение № 075-15-2021-1350).
Поступила в редакцию: 12.05.2023
Исправленный вариант: 12.05.2023
Принята в печать: 12.05.2023
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, “Изучение угловых зависимостей скоростей ионно-пучкового распыления металлов для синтеза заготовок фотошаблонов”, ЖТФ, 93:7 (2023), 1051–1053
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MikPesChe23}
\by М.~С.~Михайленко, А.~Е.~Пестов, А.~К.~Чернышев, Н.~И.~Чхало
\paper Изучение угловых зависимостей скоростей ионно-пучкового распыления металлов для синтеза заготовок фотошаблонов
\jour ЖТФ
\yr 2023
\vol 93
\issue 7
\pages 1051--1053
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf7049}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2023.07.55768.115-23}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=54384512}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf7049
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v93/i7/p1051
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:16
    PDF полного текста:3
     
      Обратная связь:
    math-net2025_03@mi-ras.ru     		 Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025