|
Физика твердого тела, 2016, том 58, выпуск 7, страницы 1403–1407
(Mi ftt9931)
|
|
|
|
Физика поверхности, тонкие пленки
Процессы рекристаллизации и образования сфероидных частиц золота в аморфноподобном AlN–TiB$_{2}$–TiSi$_{2}$ в результате отжига и последующей имплантации
А. Д. Погребнякa, А. А. Демьяненкоa, В. М. Бересневb, О. В. Собольc, О. М. Ивасишинd, K. Oyoshie, Y. Takedae, H. Amekurae, А. И. Купчишинf a Сумский государственный университет
b Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина
c Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт"
d Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины, Киев, Украина
e National Institute for Material Science (NIMS), Sakura, Ibaraki, Japan
f Казахский национальный педагогический университет, Алматы, Казахстан
Аннотация:
Использовался пучок отрицательных ионов Au$^{-}$ и проводился высокотемпературный отжиг для рекристаллизации структуры рентгеноаморфного AlN–TiB$_{2}$–TiSi$_{2}$, имеющего характерные размеры областей ближнего упорядочения 0.8–1 nm. Прямые измерения методами высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии и рентгеновским микроанализом (SEM with EDS) показали, что термический отжиг при 1300$^\circ$C на воздухе приводит к образованию наноразмерных фаз 10–15 nm из AlN, AlB$_{2}$, Al$_{3}$O$_{3}$ и TiO$_{2}$, а ионная имплантация отрицательных ионов Au$^{-}$ приводит к фрагментации (уменьшению) размера нанозерен до 2–5 nm с образованием нанокристаллитов из Au “шаровой” формы размером в несколько nm и формированию аморфной оксидной пленки в глубине (приповерхностном слое) покрытия за счет баллистического ионного перемешивания и каскадов столкновений.
Поступила в редакцию: 14.04.2015 Исправленный вариант: 30.12.2015
Образец цитирования:
А. Д. Погребняк, А. А. Демьяненко, В. М. Береснев, О. В. Соболь, О. М. Ивасишин, K. Oyoshi, Y. Takeda, H. Amekura, А. И. Купчишин, “Процессы рекристаллизации и образования сфероидных частиц золота в аморфноподобном AlN–TiB$_{2}$–TiSi$_{2}$ в результате отжига и последующей имплантации”, Физика твердого тела, 58:7 (2016), 1403–1407; Phys. Solid State, 58:7 (2016), 1453–1457
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt9931 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v58/i7/p1403
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 32 | PDF полного текста: | 6 |
|