Аннотация:
Методом каналирования ионов исследованы образцы карбида кремния, синтезированные из кремния методом топохимического замещения атомов. Результаты анализа однозначно доказывают наличие структурной гетероэпитаксии. Решетка синтезируемого карбида кремния гексагонального политипа 6$H$ эпитаксиально согласована в направлении $\langle$0001$\rangle$ с решеткой исходного кремния подложки в направлении $\langle$111$\rangle$. Выявлены основные особенности структурного самосогласования в этом эпитаксиальном гетерокомпозите. Несмотря на очень большое несоответствие параметров решеток карбида кремния и кремния, плотность дислокаций несоответствия на границе раздела невелика, что является особенностью метода топохимического замещения атомов, приводящего к соизмеримым структурам.
Образец цитирования:
В. К. Егоров, Е. В. Егоров, С. А. Кукушкин, А. В. Осипов, “Структурная гетероэпитаксия при топохимическом превращении кремния в карбид кремния”, Физика твердого тела, 59:4 (2017), 755–761; Phys. Solid State, 59:4 (2017), 773–779