Аннотация:
Методом каналирования ионов исследованы образцы карбида кремния, синтезированные из кремния методом топохимического замещения атомов. Результаты анализа однозначно доказывают наличие структурной гетероэпитаксии. Решетка синтезируемого карбида кремния гексагонального политипа 6H эпитаксиально согласована в направлении ⟨0001⟩ с решеткой исходного кремния подложки в направлении ⟨111⟩. Выявлены основные особенности структурного самосогласования в этом эпитаксиальном гетерокомпозите. Несмотря на очень большое несоответствие параметров решеток карбида кремния и кремния, плотность дислокаций несоответствия на границе раздела невелика, что является особенностью метода топохимического замещения атомов, приводящего к соизмеримым структурам.
Образец цитирования:
В. К. Егоров, Е. В. Егоров, С. А. Кукушкин, А. В. Осипов, “Структурная гетероэпитаксия при топохимическом превращении кремния в карбид кремния”, Физика твердого тела, 59:4 (2017), 755–761; Phys. Solid State, 59:4 (2017), 773–779
\RBibitem{EgoEgoKuk17}
\by В.~К.~Егоров, Е.~В.~Егоров, С.~А.~Кукушкин, А.~В.~Осипов
\paper Структурная гетероэпитаксия при топохимическом превращении кремния в карбид кремния
\jour Физика твердого тела
\yr 2017
\vol 59
\issue 4
\pages 755--761
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt9616}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTT.2017.04.44279.261}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=29257190}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2017
\vol 59
\issue 4
\pages 773--779
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783417040072}
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt9616
https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v59/i4/p755
Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
S. A. Kukushkin, A. V. Osipov, “Epitaxial Silicon Carbide on Silicon. Method of Coordinated Substitution of Atoms (A Review)”, Russ J Gen Chem, 92:4 (2022), 584
S. A. Kukushkin, A. V. Osipov, “Nanoscale Single-Crystal Silicon Carbide on Silicon and Unique Properties of This Material”, Inorg Mater, 57:13 (2021), 1319
Vladimir Egorov, Evgeny Egorov, Ion Beam Applications, 2018