Аннотация:
Методом лазерного испарения на монокристаллических подложках (001)La0.29Sr0.71Al0.65Ta0.35O3 выращены трехслойные эпитаксиальные гетероструктуры SrRuO3/SrTiO3/SrRuO3 с толщиной промежуточного слоя титаната стронция 900 nm. Фотолитография и ионное травление были использованы для формирования на базе выращенных гетероструктур плоскопараллельных пленочных конденсаторов, для которых измерены температурные зависимости тангенса угла диэлектрических потерь при различном напряжении смещения, поданном на электроды из рутената стронция. Визуализированы температурные зависимости диэлектрической проницаемости промежуточного слоя SrTiO3 в сформированных конденсаторных структурах при компенсации внутреннего электрического поля и без неe. Проведен анализ причин резкого увеличения диэлектрических потерь в сформированных пленочных конденсаторах при температурах ниже 50 K.
Образец цитирования:
Ю. А. Бойков, В. А. Данилов, “Диэлектрические параметры упруго напряженных, гетероэпитаксиальных пленок SrTiO3”, Физика твердого тела, 61:3 (2019), 594–597; Phys. Solid State, 61:3 (2019), 464–467
Ю. А. Бойков, В. А. Данилов, “Реакция диэлектрических параметров пленок (110)SrTiO3 на формирование в их объеме сегнетоэлектрических доменов”, Физика твердого тела, 61:8 (2019), 1480–1482; Yu. A. Boikov, V. A. Danilov, “Response of the dielectric parameters of (110)SrTiO3 films to the formation of ferroelectric domains in their volume”, Phys. Solid State, 61:8 (2019), 1425–1427