Основные темы научной работы |
Процессы взаимодействия неравновесной плазмы галогенсодержащих газов с твердыми материалами (металлы, полупроводники, диэлектрики). |
Научная биография: |
Мурин, Дмитрий Борисович.
Электрофизические параметры и состав плазмы в смесях $HCl$ с инертными $(Ar, He)$ и молекулярными $(H_2, Cl_2, O_2)$ газами : дис. ... канд. хим. наук : 02.00.04; [Место защиты: Иван. гос. хим.-технол. ун-т]. - Иваново, 2015. - 130 с. |
|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
2021 |
| 1. |
Д. В. Ситанов, С. А. Пивоваренок, Д. Б. Мурин, “О необходимости учета гетерогенной рекомбинации атомов при изучении кинетики травления меди в плазме хлора”, ТВТ, 59:5 (2021), 650–656   ; D. V. Sitanov, S. A. Pivovarenok, D. B. Murin, “The importance of taking into account the heterogeneous recombination of atoms when studying the kinetics of copper etching in chlorine plasma”, High Temperature, 60:1, Suppl. 2 (2022), S146–S152 |
|
2016 |
| 2. |
А. В. Дунаев, Д. Б. Мурин, С. А. Пивоваренок, “Исследование поверхности GaAs после травления в плазме высокочастотного и тлеющего разрядов методом атомно-силовой микроскопии”, Физика и техника полупроводников, 50:2 (2016), 167–170 ; A. V. Dunaev, D. B. Murin, S. A. Pivovarenok, “Study of the surface of GaAs after etching in high-frequency and glow discharge plasma by atomic force microscopy”, Semiconductors, 50:2 (2016), 167–170 |
6
|
|
2011 |
| 3. |
С. А. Пивоваренок, А. В. Дунаев, Д. Б. Мурин, А. М. Ефремов, В. И. Светцов, “Влияние состава смеси на электрофизические параметры и спектры излучения плазмы $\mathrm{HCl}$–$\mathrm{O}_2$ и $\mathrm{HCl}$–$\mathrm{Ar}$”, ТВТ, 49:4 (2011), 509–512 ; S. A. Pivovarenok, A. V. Dunaev, D. B. Murin, A. M. Efremov, V. I. Svettsov, “Effect of Mixture Composition on the Electrophysical Parameters and Emission Spectra of $\mathrm{HCl}$–$\mathrm{O}_2$ and $\mathrm{HCl}$–$\mathrm{Ar}$ Plasma”, High Temperature, 49:4 (2011), 491–494   |
14
|
|
Обратная связь: