|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
1990 |
| 1. |
К. А. Валиев, X. Зайфарт, Д. Р. Илькаев, Т. М. Махвиладзе, “Моделирование и оптимизация оптических схем установок фотолитографии”, Матем. моделирование, 2:1 (1990), 56–75  |
1
|
| 2. |
К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, Д. Р. Илькаев, В. Е. Матюшков, Т. М. Махвиладзе, А. А. Шалапенок, “Влияние пространственной когерентности лазерного излучения на качество изображения в проекционной
системе с растровым осветителем келлеровского типа”, Квантовая электроника, 17:4 (1990), 512–516 [K. A. Valiev, L. V. Velikov, G. S. Volkov, D. Yu. Zaroslov, D. R. Ilkayev, V. E. Matyushkov, T. M. Makhviladze, A. A. Shalapenok, “Influence of spatial coherence of laser radiation on the quality of images in a projection system with a Köhler-type fly's eye illuminator”, Sov J Quantum Electron, 20:4 (1990), 446–450  ] |
|
Обратная связь: