Математическое моделирование
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Матем. моделирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Математическое моделирование, 1990, том 2, номер 1, страницы 56–75 (Mi mm2316)  
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Математические модели явлений и процессов

Моделирование и оптимизация оптических схем установок фотолитографии

К. А. Валиевa, X. Зайфарт, Д. Р. Илькаевa, Т. М. Махвиладзеa

a Физико-технологический институт АН СССР
PDF полного текста (3406 kB) Список цитирования (1)
Аннотация: На основе детального рассмотрения критериев качества оптического изображения проводится оптимизация апертуры источника излучения в установках контактной фотолитографии. Проводится анализ возможности увеличения глубины фокуса и методов подавления эффектов хроматической аберрации в проекционной литографии. Дается краткий обзор перспективных технологических методов.
Поступила в редакцию: 05.07.1989
УДК: 621.382.002
Образец цитирования: К. А. Валиев, X. Зайфарт, Д. Р. Илькаев, Т. М. Махвиладзе, “Моделирование и оптимизация оптических схем установок фотолитографии”, Матем. моделирование, 2:1 (1990), 56–75
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ValZeyIlk90}
\by К.~А.~Валиев, X.~Зайфарт, Д.~Р.~Илькаев, Т.~М.~Махвиладзе
\paper Моделирование и оптимизация оптических схем установок фотолитографии
\jour Матем. моделирование
\yr 1990
\vol 2
\issue 1
\pages 56--75
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/mm2316}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/mm2316
  • https://www.mathnet.ru/rus/mm/v2/i1/p56
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Математическое моделирование
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024