|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
1991 |
| 1. |
Т. М. Махвиладзе, Е. Г. Пантелеев, М. Е. Сарычев, “Моделирование прямого травления полимерных резистов пучками тяжелых ионов средних энергий”, Матем. моделирование, 3:1 (1991), 11–17  |
|
1990 |
| 2. |
Т. М. Махвиладзе, Е. Г. Пантелеев, М. Е. Сарычев, “Модель прямого травления полимерных резистов с учетом движения полимерной матрицы”, Матем. моделирование, 2:3 (1990), 3–14 |
| 3. |
К. А. Валиев, X. Зайфарт, Д. Р. Илькаев, Т. М. Махвиладзе, “Моделирование и оптимизация оптических схем установок фотолитографии”, Матем. моделирование, 2:1 (1990), 56–75 |
1
|
| 4. |
К. А. Валиев, Л. В. Великов, Г. С. Волков, Д. Ю. Зарослов, Д. Р. Илькаев, В. Е. Матюшков, Т. М. Махвиладзе, А. А. Шалапенок, “Влияние пространственной когерентности лазерного излучения на качество изображения в проекционной
системе с растровым осветителем келлеровского типа”, Квантовая электроника, 17:4 (1990), 512–516 [K. A. Valiev, L. V. Velikov, G. S. Volkov, D. Yu. Zaroslov, D. R. Ilkayev, V. E. Matyushkov, T. M. Makhviladze, A. A. Shalapenok, “Influence of spatial coherence of laser radiation on the quality of images in a projection system with a Köhler-type fly's eye illuminator”, Sov J Quantum Electron, 20:4 (1990), 446–450  ] |
|
1989 |
| 5. |
Т. М. Махвиладзе, Е. Г. Пантелеев, М. Е. Сарычев, “Моделирование процесса выхода вещества с поверхности облучаемых полимерных резистов”, Матем. моделирование, 1:10 (1989), 70–79  |
| 6. |
М. В. Бочков, Т. М. Махвиладзе, С. Б. Пекарчук, Б. Н. Четверушкин, “Численное моделирование травления полимеров в кислородсодержащей атмосфере”, Матем. моделирование, 1:2 (1989), 1–13 |
|
1986 |
| 7. |
К. А. Валиев, Т. М. Махвиладзе, М. Е. Сарычев, “Механизм травления полимерных пленок в низкотемпературной плазме”, ЖТФ, 56:7 (1986), 1329–1335 |
|
1985 |
| 8. |
Ю. Б. Америк, К. А. Валиев, Л. В. Великов, С. Д. Душенков, Т. М. Махвиладзе, A. М. Прохоров, Л. А. Широкова, “Фототравление полимеров в условиях цепной деполимеризации макромолекул”, Докл. АН СССР, 280:5 (1985), 1106–1110 |
|
1983 |
| 9. |
Т. М. Махвиладзе, М. Е. Сарычев, “Комбинационное рассеяние света на фононных солитонах в кристаллах”, Физика твердого тела, 25:6 (1983), 1717–1719 |
|
1977 |
| 10. |
Т. М. Махвиладзе, И. Г. Синицын, Л. А. Шелепин, “Переходные процессы при распространении ультракороткого импульса в трехуровневой среде”, Квантовая электроника, 4:6 (1977), 1313–1317 [T. M. Makhviladze, I. G. Sinitsyn, L. A. Shelepin, “Transient processes in propagation of an ultrashort pulse in a three-level medium”, Sov J Quantum Electron, 7:6 (1977), 739–741] |
2
|
|
Обратная связь: