| |
Изюмов Михаил Олегович
|
| В базах данных Math-Net.Ru |
| Публикаций: |
1 |
| Научных статей: |
1 |
| Статистика просмотров: |
| Эта страница: | 56 | | Страницы публикаций: | 68 | | Полные тексты: | 41 |
|
|
кандидат физико-математических наук (2001) |
| Специальность ВАК: |
05.27.01 (твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах) |
Основные темы научной работы |
плазменные процессы травления технологии микроэлектроники, микро- и наносистемной техники. |
Научная биография: |
научный сотрудник лаборатории технологии микро- и наносистемной техники ЯФ ФТИАН РАН.
Изюмов, Михаил Олегович.
Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления : дис. ... канд. физ.-матем. наук : 05.27.01. - Ярославль, 2001. - 159 с. |
|
 |
https://www.mathnet.ru/rus/person185117 |
 |
Список публикаций на Google Scholar |
 |
Список публикаций на ZentralBlatt |
 |
https://elibrary.ru/author_items.asp?authorid=37853
|
|
|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
2021 |
| 1. |
Р. В. Селюков, М. О. Изюмов, В. В. Наумов, Л. А. Мазалецкий, “Формирование текстуры (100) в тонких пленках Ti под действием низкоэнергетической ионной бомбардировки”, Письма в ЖТФ, 47:23 (2021), 35–39 |
1
|
|
|
| Организации |
|
Обратная связь: