Ведущий специалист Научно-исследовательского
физико-химического института им. Л.Я. Карпова. Область научных интересов: химия полимеров, тонкие полимерные плёнки для микро- и наноэлектроники, электронная литография.
М. А. Брук, Е. Н. Жихарев, Д. Р. Стрельцов, В. А. Кальнов, А. В. Спирин, А. Е. Рогожин, “Некоторые особенности нового метода формирования микрорельефа путём прямого электронно-лучевого травления резиста”, Компьютерная оптика, 39:2 (2015), 204–210
Обратная связь: