Журнал вычислительной математики и математической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Ж. вычисл. матем. и матем. физ.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Журнал вычислительной математики и математической физики, 2021, том 61, номер 9, страницы 1528–1535
DOI: https://doi.org/10.31857/S004446692109012X
(Mi zvmmf11292)
 

Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)

Математическая физика

Сравнительный анализ свойств алгоритмов решения обратных задач, связанных с монохроматическим контролем процессов напыления оптических покрытий

И. В. Кочиковa, Ю. С. Лагутинbc, А. А. Лагутинаbc, Д. В. Лукьяненкоbc, А. В. Тихонравовab, С. А. Шараповаab, А. Г. Яголаc

a 119234 Москва, Ленинские горы, 1, стр. 4, НИВЦ МГУ, Россия
b 119234 Москва, Московский центр фундаментальной и прикладной математики, Россия
c 119991 Москва, Ленинские горы, 1, стр. 2, МГУ им. М.В. Ломоносова, физический факультет, Россия
Аннотация: Проводится сравнительный анализ трех принципиально различных алгоритмов решения обратных задач контроля толщин слоев оптических покрытий на основе данных монохроматических измерений коэффициентов отражения/пропускания покрытий в процессе их напыления. Развитый ранее геометрический подход к исследованию корреляции ошибок в толщинах слоев напыляемых покрытий распространен на случай монохроматических измерений. Для оценки наличия эффекта самокомпенсации ошибок введен новый параметр, названный фактором самокомпенсации. Показана его роль при оценке перспектив использования различных алгоритмов для контроля напыления оптических покрытий.
Библ. 16. Фиг. 3. Табл. 2.
Ключевые слова: обратные задачи, алгоритмы, оптические покрытия, монохроматический контроль, корреляция ошибок, самокомпенсация ошибок.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 16-11-10219
Работа выполнена при финансовой поддержке РНФ (проект № 16-11-10219).
Поступила в редакцию: 05.11.2020
Исправленный вариант: 05.11.2020
Принята в печать: 11.02.2021
Англоязычная версия:
Computational Mathematics and Mathematical Physics, 2021, Volume 61, Issue 9, Pages 1504–1510
DOI: https://doi.org/10.1134/S0965542521090116
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 519.635
Образец цитирования: И. В. Кочиков, Ю. С. Лагутин, А. А. Лагутина, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, С. А. Шарапова, А. Г. Ягола, “Сравнительный анализ свойств алгоритмов решения обратных задач, связанных с монохроматическим контролем процессов напыления оптических покрытий”, Ж. вычисл. матем. и матем. физ., 61:9 (2021), 1528–1535; Comput. Math. Math. Phys., 61:9 (2021), 1504–1510
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KocLagLag21}
\by И.~В.~Кочиков, Ю.~С.~Лагутин, А.~А.~Лагутина, Д.~В.~Лукьяненко, А.~В.~Тихонравов, С.~А.~Шарапова, А.~Г.~Ягола
\paper Сравнительный анализ свойств алгоритмов решения обратных задач, связанных с монохроматическим контролем процессов напыления оптических покрытий
\jour Ж. вычисл. матем. и матем. физ.
\yr 2021
\vol 61
\issue 9
\pages 1528--1535
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/zvmmf11292}
\crossref{https://doi.org/10.31857/S004446692109012X}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46464466}
\transl
\jour Comput. Math. Math. Phys.
\yr 2021
\vol 61
\issue 9
\pages 1504--1510
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0965542521090116}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000707357500009}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85117260257}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/zvmmf11292
  • https://www.mathnet.ru/rus/zvmmf/v61/i9/p1528
  • Эта публикация цитируется в следующих 6 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Журнал вычислительной математики и математической физики Computational Mathematics and Mathematical Physics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:107
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024