|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Математическая физика
Устойчивый метод оптического контроля процесса напыления многослойных оптических покрытий
И. В. Кочиковa, Ю. С. Лагутинbc, А. А. Лагутинаbc, Д. В. Лукьяненкоbc, А. В. Тихонравовac, А. Г. Яголаb a 119234 Москва, Ленинские горы, НИВЦ МГУ им. М.В. Ломоносова, Россия
b 119992 Москва, Ленинские горы, МГУ им. М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра математики, Россия
c 119234 Москва, Ленинские горы, МГУ им. М.В. Ломоносова, Московский центр фундаментальной и прикладной математики, Россия
Аннотация:
Предложен устойчивый метод оптического контроля толщин слоев при напылении многослойных оптических покрытий, позволяющий полностью устранить кумулятивный эффект накопления ошибок в толщинах напыляемых слоев. Рассматриваемый метод контроля использует нелокальный алгоритм анализа данных, получаемых при контроле процесса напыления покрытия. С помощью компьютерной симуляции процесса напыления демонстрируется эффективность предложенного типа контроля в сравнении с другими типами оптического контроля. Библ. 13. Фиг. 3.
Ключевые слова:
многослойные покрытия, монохроматический оптический контроль, вычислительные алгоритмы, анализ экспериментальных данных.
Поступила в редакцию: 03.06.2020 Исправленный вариант: 03.06.2020 Принята в печать: 04.08.2020
Образец цитирования:
И. В. Кочиков, Ю. С. Лагутин, А. А. Лагутина, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола, “Устойчивый метод оптического контроля процесса напыления многослойных оптических покрытий”, Ж. вычисл. матем. и матем. физ., 60:12 (2020), 2122–2130; Comput. Math. Math. Phys., 60:12 (2020), 2056–2063
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/zvmmf11175 https://www.mathnet.ru/rus/zvmmf/v60/i12/p2122
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 133 | Список литературы: | 10 |
|