Журнал вычислительной математики и математической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Ж. вычисл. матем. и матем. физ.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал вычислительной математики и математической физики, 2020, том 60, номер 12, страницы 2122–2130
DOI: https://doi.org/10.31857/S0044466920120066 (Mi zvmmf11175) 		 
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)

Математическая физика

Устойчивый метод оптического контроля процесса напыления многослойных оптических покрытий

И. В. Кочиковa, Ю. С. Лагутинbc, А. А. Лагутинаbc, Д. В. Лукьяненкоbc, А. В. Тихонравовac, А. Г. Яголаb

a 119234 Москва, Ленинские горы, НИВЦ МГУ им. М.В. Ломоносова, Россия
b 119992 Москва, Ленинские горы, МГУ им. М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра математики, Россия
c 119234 Москва, Ленинские горы, МГУ им. М.В. Ломоносова, Московский центр фундаментальной и прикладной математики, Россия
Список цитирования (6)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.31857/S0044466920120066
Аннотация: Предложен устойчивый метод оптического контроля толщин слоев при напылении многослойных оптических покрытий, позволяющий полностью устранить кумулятивный эффект накопления ошибок в толщинах напыляемых слоев. Рассматриваемый метод контроля использует нелокальный алгоритм анализа данных, получаемых при контроле процесса напыления покрытия. С помощью компьютерной симуляции процесса напыления демонстрируется эффективность предложенного типа контроля в сравнении с другими типами оптического контроля. Библ. 13. Фиг. 3.
Ключевые слова: многослойные покрытия, монохроматический оптический контроль, вычислительные алгоритмы, анализ экспериментальных данных.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 16-11-10219
Работа выполнена при финансовой поддержке РНФ (проект № 16-11-10219).
Поступила в редакцию: 03.06.2020
Исправленный вариант: 03.06.2020
Принята в печать: 04.08.2020
Англоязычная версия:
Computational Mathematics and Mathematical Physics, 2020, Volume 60, Issue 12, Pages 2056–2063
DOI: https://doi.org/10.1134/S0965542520120064
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 519.6
Образец цитирования: И. В. Кочиков, Ю. С. Лагутин, А. А. Лагутина, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола, “Устойчивый метод оптического контроля процесса напыления многослойных оптических покрытий”, Ж. вычисл. матем. и матем. физ., 60:12 (2020), 2122–2130; Comput. Math. Math. Phys., 60:12 (2020), 2056–2063
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KocLagLag20}
\by И.~В.~Кочиков, Ю.~С.~Лагутин, А.~А.~Лагутина, Д.~В.~Лукьяненко, А.~В.~Тихонравов, А.~Г.~Ягола
\paper Устойчивый метод оптического контроля процесса напыления многослойных оптических покрытий
\jour Ж. вычисл. матем. и матем. физ.
\yr 2020
\vol 60
\issue 12
\pages 2122--2130
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/zvmmf11175}
\crossref{https://doi.org/10.31857/S0044466920120066}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=44154329}
\transl
\jour Comput. Math. Math. Phys.
\yr 2020
\vol 60
\issue 12
\pages 2056--2063
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0965542520120064}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=WOS:000604980400008}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85098550482}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/zvmmf11175
  • https://www.mathnet.ru/rus/zvmmf/v60/i12/p2122
    • Эта публикация цитируется в следующих 6 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал вычислительной математики и математической физики Computational Mathematics and Mathematical Physics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:135
    Список литературы:12
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024