|
Вычислительные подходы к исследованию эффекта самокомпенсации ошибок при напылении многослойных оптических покрытий
И. В. Кочиковa, А. В. Тихонравовa, А. Г. Яголаb a 119234 Москва, Ленинские горы, МГУ, НИВЦ, Россия
b 119991 Москва, Ленинские горы, МГУ, Физ. ф-т, Россия
Аннотация:
В работе развивается новый вычислительный подход к оценке силы эффекта самокомпенсации ошибок при широкополосном оптическом контроле процесса напыления многослойных покрытий. Предложена новая форма оценки силы эффекта самокомпенсации ошибок. Показано, что исследование наличия эффекта самокомпенсации с помощью вычислительных экспериментов по моделированию процесса напыления и оценки двух параметров, характеризующих степень коррелированности ошибок и силу эффекта самокомпенсации, наиболее целесообразно с практической точки зрения. Библ. 15. Фиг. 5.
Ключевые слова:
обратные задачи, оптические покрытия, широкополосный оптический контроль, корреляция ошибок.
Поступила в редакцию: 24.10.2019 Исправленный вариант: 24.10.2019 Принята в печать: 11.02.2020
Образец цитирования:
И. В. Кочиков, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола, “Вычислительные подходы к исследованию эффекта самокомпенсации ошибок при напылении многослойных оптических покрытий”, Ж. вычисл. матем. и матем. физ., 60:6 (2020), 1045–1052; Comput. Math. Math. Phys., 60:6 (2020), 1017–1024
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/zvmmf11094 https://www.mathnet.ru/rus/zvmmf/v60/i6/p1045
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 109 | Список литературы: | 17 |
|