Прямая и обратная задачи исследования свойств многослойных наноструктур по двумерной математической модели отражения и рассеяния рентгеновского излучения

Предлагается разработанная автором математическая модель отражения и рассеяния рентгеновского излучения многослойными наноструктурами, которая описывает исследуемый процесс в двумерном квазиоптическом приближении. При решении задачи распространения рентгеновского излучения и распределения его электромагнитного поля внутри многослойной наноструктуры учитывается эффект рефракции за счет наличия второй производной по глубине структуры. На примере этой модели показана возможность решения обратных задач, позволяющих определять характеристики неоднородностей не только по глубине (как в случае одномерной модели), но также и вдоль структуры. Для решения обратных задач предлагается использовать аппроксимационно-комбинаторный метод декомпозиции и композиции систем. Библ. 7. Фиг. 3.