|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Физика
Оценка возможности применения метода лазерной триангуляции к измерениям толщин тонких пленок
А. А. Адамов, В. Н. Храмов Волгоградский государственный университет
Аннотация:
Рассмотрена задача определения толщины тонких пленок методом лазерной триангуляции. Получено выражение, связывающее значение толщины пленки и координаты лучей на фотоприемнике. Экспериментально показана возможность применения данного метода для измерения толщин в диапазоне [0,1;1] мм. Полученные результаты могут быть использованы в офтальмологии для экспресс-диагностики во время проведения операций на роговичном слое.
Ключевые слова:
лазерная триангуляция, толщина, тонкая пленка, ПЗС-матрица, показатель преломления, погрешность.
Образец цитирования:
А. А. Адамов, В. Н. Храмов, “Оценка возможности применения метода лазерной триангуляции к измерениям толщин тонких пленок”, Математическая физика и компьютерное моделирование, 20:4 (2017), 83–94
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/vvgum199 https://www.mathnet.ru/rus/vvgum/v20/i4/p83
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 181 | PDF полного текста: | 77 | Список литературы: | 34 |
|