Multipole electrostatic system mathematical modeling

В данной статье представлено математическое моделирование двумерной электростатической мультипольной системы. Мультипольную систему образует четное число электродов бесконечной длины с одним и тем же профилем. Форма профиля электрода может быть произвольной. На каждый из электродов подан потенциал, одинаковый по модулю для всех элементов системы и имеющий противоположный знак на соседних элементах. Для того чтобы найти распределение потенциала, каждый реальный электрод заменяется виртуальным, поверхность которого совпадает с определенной эквипотенциальной поверхностью. Для решения граничной задачи применяется метод разделения переменных в полярных координатах. Мультипольные электронно-оптические системы широко используются в электронно-вакуумных приборах, например, для коррекции сферической и хроматической аберрации низковольтного растрового электронного микроскопа, улучшения разрешения низковольтного сканирующего электронного микроскопа, для фокусировки и транспортировки пучков заряженных частиц. Распределение электростатического потенциала найдено в аналитической форме во всей области исследуемой системы, что позволяет решать задачи оптимизации при конструировании приборов электронной оптики. Библиогр. 11 назв. Ил. 5.