Экспериментальная методика определения эволюции формы изгиба тонкой подложки при электрокристаллизации меди в областях сложной формы

Развивается экспериментальная методика идентификации локальных несовместных деформаций в тонких слоях, получаемых в результате электрокристаллизации. В ходе эксперимента регистрируется изменение во времени формы поверхности тонкой подложки, на которой осуществляется электрокристаллизация. Идентификация параметров локально несовместных деформаций осуществляется из условия наименьшего отклонения экспериментально определенных смещений и смещений, найденных по теоретической зависимости. В качестве такой зависимости используется решение краевой задачи для послойно наращиваемой пластины. Существенное отличие предлагаемой методики от известных способов состоит в том, что в ходе эксперимента электрокристаллизация осуществляется в областях различной формы. Это, в частности, позволяет осуществить анализ влияния угловых точек контура области осаждения на несовместные деформации, вызванные электрохимическим процессом.