Вестник Самарского государственного университета. Естественнонаучная серия
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Вестн. СамУ. Естественнонаучн. сер.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Вестник Самарского государственного университета. Естественнонаучная серия, 2013, выпуск 3(104), страницы 107–119 (Mi vsgu333)  
Физика

Механизмы деградации электрофизических характеристик МОП-структур с high-$k$ диэлектриками

М. Б. Шалимоваa, В. С. Афанасковa, Е. Н. Хавдейb

a Самарский государственный университет, 443011, Российская Федерация, г. Самара, ул. Акад. Павлова, 1
b Физический институт им. П. Н. Лебедева, 443011, Российская Федерация, г. Самара, ул. Ново-Садовая, 221
PDF полного текста (373 kB)
(публикуется на условиях лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International)
Список литературы:
PDF
HTML
Аннотация: Представлены результаты изучения процессов изменения электрофизических характеристик при различных режимах работы МОП-структур и анализ наиболее вероятных механизмов деградации структур. Затворный диэлектрик изготавливался из оксидов редкоземельных элементов (high-$k$ диэлектрики). Проводилась оценка влияния электрического поля и температуры на изменение зарядового состояния исследуемых структур, определялась величина энергетической плотности поверхностных состояний на границе раздела диэлектрик-полупроводник.
Ключевые слова: МОП-конденсатор, надежность, пробой оксида, затворный диэлектрик, оксиды редкоземельных элементов.
Поступила в редакцию: 02.03.2013
Исправленный вариант: 02.03.2013
Тип публикации: Статья
УДК: 621.382.2
Образец цитирования: М. Б. Шалимова, В. С. Афанасков, Е. Н. Хавдей, “Механизмы деградации электрофизических характеристик МОП-структур с high-$k$ диэлектриками”, Вестн. СамГУ. Естественнонаучн. сер., 2013, № 3(104), 107–119
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ShaAfaKha13}
\by М.~Б.~Шалимова, В.~С.~Афанасков, Е.~Н.~Хавдей
\paper Механизмы деградации электрофизических характеристик МОП-структур с high-$k$ диэлектриками
\jour Вестн. СамГУ. Естественнонаучн. сер.
\yr 2013
\issue 3(104)
\pages 107--119
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/vsgu333}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/vsgu333
  • https://www.mathnet.ru/rus/vsgu/y2013/i3/p107
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Вестник Самарского государственного университета. Естественнонаучная серия
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:112
    PDF полного текста:48
    Список литературы:19
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024