|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 7 статьях)
Прикладная оптика
Контроль параметров микрорельефа дифракционных оптических элементов с использованием тестовых дифракционных структур
А. В. Волков
(публикуется на условиях лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International)
Аннотация:
Предложен и исследуется метод лазерного контроля качества микрорельефа дифракционных оптических элементов, осуществляемого на основе тестовых дифракционных структур (ТДС). Показана возможность контроля дифракционного микрорельефа оптических элементов среднего ИК-диапазона на основе линейных амплитудных ТДС с точностью 0{,}1 мкм.
Образец цитирования:
А. В. Волков, “Контроль параметров микрорельефа дифракционных оптических элементов с использованием тестовых дифракционных структур”, Вестн. Сам. гос. техн. ун-та. Сер. Физ.-мат. науки, 12, СамГТУ, Самара, 2001, 179–185
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/vsgtu80 https://www.mathnet.ru/rus/vsgtu/v12/p179
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 387 | PDF полного текста: | 250 | Список литературы: | 33 |
|