Вычислительные методы и программирование
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Выч. мет. программирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Вычислительные методы и программирование, 2019, том 20, выпуск 4, страницы 471–480
DOI: https://doi.org/10.26089/NumMet.v20r441 (Mi vmp982) 		 
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)

Нелокальный алгоритм анализа данных монохроматического контроля процесса напыления многослойных покрытий

И. В. Кочиковa, Ю. С. Лагутинb, А. А. Лагутинаb, Д. В. Лукьяненкоb, А. В. Тихонравовa, А. Г. Яголаb

a Научно-исследовательский вычислительный центр Московского государственного университета имени М. В. Ломоносова
b Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
PDF полного текста (488 kB) Список цитирования (5)
DOI: https://doi.org/10.26089/NumMet.v20r441
Аннотация: Предложен новый алгоритм определения значений экстремумов измеряемой в процессе напыления многослойного покрытия зависимости значения коэффициента отражения от оптической толщины напыляемого слоя. Алгоритм использует физическую модель процесса напыления, что позволяет использовать все данные измерений, накопленные регистрирующим прибором во время напыления слоя, в отличие от классических подходов, которые хорошо описывают зависимость коэффициента отражения только вблизи ее экстремума. Эффективность предложенного подхода продемонстрирована на примере моделирования процесса напыления 20-слойного четвертьволнового зеркала.
Ключевые слова: вычислительные алгоритмы, анализ экспериментальных данных, тонкослойные покрытия, монохроматический оптический контроль.
Поступила в редакцию: 07.10.2019
УДК: 519.6
Образец цитирования: И. В. Кочиков, Ю. С. Лагутин, А. А. Лагутина, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола, “Нелокальный алгоритм анализа данных монохроматического контроля процесса напыления многослойных покрытий”, Выч. мет. программирование, 20:4 (2019), 471–480
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KocLagLag19}
\by И.~В.~Кочиков, Ю.~С.~Лагутин, А.~А.~Лагутина, Д.~В.~Лукьяненко, А.~В.~Тихонравов, А.~Г.~Ягола
\paper Нелокальный алгоритм анализа данных монохроматического контроля процесса напыления многослойных покрытий
\jour Выч. мет. программирование
\yr 2019
\vol 20
\issue 4
\pages 471--480
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/vmp982}
\crossref{https://doi.org/10.26089/NumMet.v20r441}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/vmp982
  • https://www.mathnet.ru/rus/vmp/v20/i4/p471
    • Эта публикация цитируется в следующих 5 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Вычислительные методы и программирование
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:170
    PDF полного текста:50
    Список литературы:1
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024